[发明专利]高精密微型玻璃V形槽基板的生产工艺

说明书

技术领域：

本发明涉及一种微型玻璃V形槽基板的生产工艺。

背景技术：

目前光通讯集成器件中需要一种精确排列光纤定位用的精密微型玻璃V形槽基板。由于该元件上的V槽非常微小，宽度要比光纤的直径还要略小些，只有不到0.125毫米的大小，并且是由2根至64根不等的多条槽排列，每条槽定位一根光纤，要求槽与槽之间的间距精度达到±0.5微米。要求高，制造难度大，一般的加工方法无法实现。

发明内容：

本发明的目的在于提供一种工艺简单，能方便生产出高精度的微小玻璃V形槽的高精密微型玻璃V形槽基板的生产工艺。

本发明的技术解决方案是：

一种高精密微型玻璃V形槽基板的生产工艺，其特征是：包括下列步骤：

先将所要加工的V形槽按比例放大一定的倍数，按照该大比例尺寸通过精密机械冷加工制造出一个大尺寸的玻璃V形槽，然后利用玻璃熔融拉锥的原理，将大尺寸的玻璃V形槽拉制成需要的尺寸。

所述按比例放大一定的倍数是指按比例放大8～12倍。

拉制时，通过激光测控系统进行监控拉制的尺寸。

本发明将难以达到的微观下的高精度控制通过工艺分解，采用常规状态下的高精度控制加工，再通过精确按比例缩小，得到微观下的高精度。本发明融合了精密机械冷加工和精密玻璃熔融拉伸工艺的综合生产工艺，能保证生产出的微型玻璃V形槽基板达到精度要求。

附图说明：

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。

图1是本发明一个实施例的工艺图。

具体实施方式：

先将所要加工的V形槽按比例放大一定的倍数(一般10倍左右)，按照该大比例尺寸通过精密机械冷加工制造出一个大尺寸的玻璃V形槽，由于放大比例后尺寸精度也相应的被放大，所以比较容易控制，同时V形槽由原来微小的尺寸放大成比较常规的尺寸，也解决了加工刀具的难题。然后利用玻璃熔融拉锥的原理，将大尺寸的玻璃V形槽坯料1通过熔炉2，由拉伸牵引设备4拉伸，并通过激光测控系统3进行监控拉制的尺寸，将大尺寸的玻璃V形槽拉制成需要的尺寸。由于控制住了大尺寸V形槽的相对精度，所以只要拉制后按控制的比例进行缩小就可以得到高精度的微小玻璃V形槽基板5。图中还有定位装置6。