[发明专利]透镜透射光均匀度量测系统及方法无效

专利信息
申请号: 201010131881.2 申请日: 2010-03-25
公开(公告)号: CN102200472A 公开(公告)日: 2011-09-28
发明(设计)人: 韦安琪;萧明扬;杨宏彬;陈昱树 申请(专利权)人: 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫能源科技股份有限公司
主分类号: G01J1/00 分类号: G01J1/00;G01M11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201600 上海市松江区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 透镜 透射 均匀 度量 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种透镜透射光均匀度量测系统,其包括:一光源,用于发射平行光到待测透镜上;一屏幕,用于承载所述光源发射到待测透镜上的平行光经过待测透镜会聚后形成的光斑;一取像装置,用于获取所述屏幕上的光斑的图像;以及一处理器,用于分析取像装置获取的光斑图像中的光照度分布情况,从而得到待测透镜的透射光的均匀度。

2.如权利要求1所述的透镜透射光均匀度量测系统,其特征在于:所述光源为高压气体放电灯。

3.如权利要求1所述的透镜透射光均匀度量测系统,其特征在于:所述光源与待测透镜之间的距离大于所述待测透镜最大径的10倍。

4.如权利要求1所述的透镜透射光均匀度量测系统,其特征在于:所述屏幕垂直于所述光源射向待测透镜的光线。

5.如权利要求1所述的透镜透射光均匀度量测系统,其特征在于:所述处理器还能够将光斑图像分成多个区域,并计算出各个区域的光照度值,所述透镜透射光均匀度量测系统还包括一显示器,用于显示出光斑图像各个区域的光照度值。

6.一种透镜透射光均匀度量测方法,包括以下步骤:

提供一光源及一屏幕,该光源能够发射平行光到待测透镜上;

将待测透镜放于所述光源与屏幕之间,使得该光源照射到待测透镜上的平行光经过待测透镜会聚后在屏幕上能够形成光斑;

获取所述屏幕上的光斑的图像;

分析所述光斑图像中的光照度分布情况,从而得到待测透镜的透射光的均匀度。

7.如权利要求6所述的透镜透射光均匀度量测方法,其特征在于:所述光源为高压气体放电灯。

8.如权利要求6所述的透镜透射光均匀度量测方法,其特征在于:所述光源与待测透镜之间的距离大于所述待测透镜最大径的10倍。

9.如权利要求6所述的透镜透射光均匀度量测方法,其特征在于:所述屏幕垂直于所述光源射向待测透镜的光线。

10.如权利要求6所述的透镜透射光均匀度量测方法,其特征在于:所述透镜透射光均匀度量测方法中,还进一步将所述光斑图像中的光照度分布情况通过一显示器显示出来。

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