[发明专利]光束照射装置以及位置检测装置无效

专利信息
申请号: 201010129472.9 申请日: 2010-03-08
公开(公告)号: CN101833167A 公开(公告)日: 2010-09-15
发明(设计)人: 前纳良昭;山口淳 申请(专利权)人: 三洋电机株式会社;三洋光学设计株式会社
主分类号: G02B26/10 分类号: G02B26/10;G01S7/481;G01S17/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李贵亮
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 光束 照射 装置 以及 位置 检测
【权利要求书】:

1.一种光束照射装置,其特征在于,具有:

激光光源,其射出激光;

执行器,通过使入射所述激光的光学元件转动,在目标区域使激光进行扫描;

伺服光源,其射出伺服光;

透明体,其随着所述光学元件的转动进行转动,并且入射所述伺服光;

光检测器,其对透过所述透明体的所述伺服光进行接收,从而输出对应于该接收位置的信号;以及

衍射部,其与所述透明体一起进行转动,并且在所述透明体的转动方向上衍射所述伺服光。

2.根据权利要求1所述的光束照射装置,其特征在于,

所述衍射部是在所述透光体的表面上一体形成的衍射图案。

3.根据权利要求1或者2所述的光束照射装置,其特征在于,

所述执行器使所述光学元件在第1轴和垂直于该第1轴的第2轴的周围进行转动,

所述衍射部至少在所述光学元件于所述第1轴的周围进行转动时的所述透明体的转动方向上,衍射所述伺服光。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的光束照射装置,其特征在于,

所述光学元件是反射镜。

5.一种位置检测装置,其检测物体的转动位置,该位置检测装置的特征在于,具有:

伺服光源,其射出伺服光;

透明体,其随着所述物体的转动进行转动,并且入射所述伺服光;

光检测器,其对透过所述透明体的所述伺服光进行接收,从而输出对应于该接收位置的信号;以及

衍射部,其与所述透明体一起进行转动,并且在所述透明体的转动方向上衍射所述伺服光。

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