[发明专利]氢气的供给装置及供给方法、石英玻璃制造装置

权利要求书

1.一种供给装置，其特征在于：其对石英玻璃制造装置供给氢气，此石英玻璃制 造装置包括供给氢气而产生氢氧焰的燃烧器，且所述供给装置包括：

第一氢供给系统，其供给正氢和仲氢的含有比处于平衡状态的氢气；

第二氢供给系统，其供给正氢和仲氢的含有比偏离平衡状态的氢气；

阀门，其改变对所述燃烧器供给的氢气的流量；

第一流量测量器，其基于热容量测量来测量所述氢气的流量；

流量控制部，其具有对用以使所述第一流量测量器的测量值接近于由外部提供的设 定值的所述阀门进行控制的控制部；

第二流量测量器，其根据热容量以外的要素来测量所述氢气的流量；及

设定值修正部，其将通过所述第一流量测量器的测量值与所述第二流量测量器的测 量值的比乘以所述设定值来修正而得的设定值设定在所述控制部中。

2.根据权利要求1所述的供给装置，其特征在于：

所述流量控制部是具有沿着所述氢气流而配置的温度传感器的热式质量流量控制 器。

3.根据权利要求2所述的供给装置，其特征在于：

所述第一流量测量器为热式质量流量计。

4.根据权利要求1所述的供给装置，其特征在于：

所述第二流量测量器为科里奥利式质量流量计。

5.一种石英玻璃制造装置，其特征在于包括根据权利要求1至根据权利要求4中 任一项所述的供给装置。

6.一种供给方法，其特征在于：其将正氢和仲氢的含有比处于平衡状态的氢气、 与正氢和仲氢的含有比偏离平衡状态的氢气，以与预先设定的设定值对应的供给量，供 给到包括供给氢气而产生氢氧焰的燃烧器的石英玻璃制造装置，且包括：

第一流量测量步骤，基于热容量测量来测量所述氢气的流量；

第二流量测量步骤，根据热容量以外的要素来测量所述氢气的流量；及

修正步骤，计算出通过所述第一流量测量步骤的测量值与所述第二流量测量步骤的 测量值的比乘以所述设定值来修正而得的设定值；及

控制步骤，控制使供给到所述燃烧器的氢气的流量发生变化的阀门的开度，以使所 述第一流量测量步骤的测量值接近于经所述修正的设定值。

7.根据权利要求6所述的供给方法，其特征在于：

所述燃烧器用于采用VAD法(Vapor phase axial deposition method)的石英玻璃的 制造中。

8.根据权利要求6所述的供给方法，其特征在于：

所述燃烧器用于采用OVD法(Outside vapor deposition method)的石英玻璃的制造 中。

9.根据权利要求6所述的供给方法，其特征在于：

硅化合物与所述氢气一起供给到所述燃烧器中。

10.根据权利要求9所述的供给方法，其特征在于：

所述硅化合物为四氯化硅。

11.根据权利要求6所述的供给方法，其特征在于：

锗化合物与所述氢气一起供给到所述燃烧器中。

12.根据权利要求11所述的供给方法，其特征在于：

所述锗化合物为四氯化锗。