[发明专利]偏光转换装置

权利要求书

1.一种偏光转换装置，使用于根据来自光源的光对被照射面进行照明的照 明光学装置，其特征在于：

具有配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏 光状态，且可将所述特定的偏光状态局部且连续地进行变更的偏光转换元件；

所述偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多 个可变旋光构件，或是用于对入射光和射出光之间可变地赋予相位差的多个可 变相位差构件的至少其中之一，

所述多个可变旋光构件与所述多个可变相位差构件设置为可于与所述照 明光学装置的光轴直交的面内移动，其中所述面位于所述照明光学装置的照明 瞳面或其附近。

2.如权利要求1所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变旋光构 件的每一个，由具有旋光性的光学材料形成，且具有可沿与所述照明光学装置 的光轴交叉的方向相对地进行移动的2个偏角棱镜。

3.如权利要求2所述的偏光转换装置，其特征在于：所述2个偏角棱镜以 结晶光学轴与所述光轴大致平行的形态进行配置。

4.如权利要求3所述的偏光转换装置，其特征在于：所述2个偏角棱镜具 有彼此互补的楔形的断面形状。

5.如权利要求1所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变旋光构 件，沿以所述照明光学装置的光轴为中心的圆的圆周方向进行配置。

6.如权利要求5所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变旋光构 件的每一个，具有大致的扇形形状。

7.如权利要求1所述的偏光转换装置，其特征在于：

所述照明光学装置还具有用于对到达所述被照射面的光的偏光状态进行 测定的偏光状态测定器，

所述多个可变旋光构件，依据所述偏光状态测定器的测定结果，分别进行 调整。

8.如权利要求1所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变相位差 构件的每一个，具有以与所述照明光学装置的光轴大致平行的轴线为中心而旋 转自如地构成的巴俾涅补偿器或索累补偿器。

9.如权利要求1所述的偏光转换装置，其特征在于：所述多个可变相位差 构件，沿以所述照明光学装置的光轴为中心的圆的圆周方向进行配置。

10.如权利要求1所述的偏光转换装置，其特征在于：

所述照明光学装置还具有用于测定到达所述被照射面的光的偏光状态的 偏光状态测定器；

所述多个可变相位差构件依据所述偏光状态测定器的测定结果，分别进行 调整。