[发明专利]微纳复合织构化刀具的飞秒激光制备方法

权利要求书

1.微纳复合织构化刀具的飞秒激光制备方法，其特征在于：利用飞秒激光在涂层刀具表面待加工的位置加工所需面积的织构或利用飞秒激光在刀具表面待加工的位置直接加工所需面积的织构，然后在织构过的刀具表面蒸镀涂层，该织构由以下三种结构群组成：尺寸在1μm～200μm的微米结构、尺寸在50nm～1μm的纳米结构或微米与纳米的复合结构。

2.根据权利要求1所述的微纳复合织构化刀具的飞秒激光制备方法，其特征在于：所说的利用飞秒激光在涂层刀具表面待加工的位置加工所需面积的织构的具体步骤如下：

1)首先，在刀具基体表面进行涂层蒸镀；

2)其次，在蒸镀过涂层的刀具表面，用飞秒激光烧蚀去除的方法在涂层刀具表面待加工的位置加工所需面积的微米结构、纳米结构或微米与纳米复合结构的槽结构群；

3)最后，采用大光斑尺寸、低能量密度飞秒激光扫描的方法，在已形成的槽结构群的表面上扫描出均匀的织构。

3.根据权利要求1所述的微纳复合织构化刀具的飞秒激光制备方法，其特征在于：利用飞秒激光在刀具表面待加工的位置直接加工所需面积的织构的具体步骤如下：

1)首先，用飞秒激光烧蚀去除的方法在未涂层的刀具基体表面待加工的位置加工所需面积的微米结构、纳米结构或微米与纳米复合结构的槽结构群；

2)其次，在加工有槽结构群的刀具基体表面蒸镀涂层；

3)最后，在涂层表面采用大光斑尺寸、低能量密度飞秒激光扫描的方法，在已形成的槽结构群的表面上扫描出均匀的织构。