[发明专利]蒸发源装置无效
| 申请号： | 201010124409.6 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN102168251A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李适维;邱振海;黄伟民;林清儒 | 申请（专利权）人： | 绿阳光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李树明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
1.一种蒸发源装置，包含：
一坩锅，配设有一内阶梯状套接段；以及
一喷嘴盖体，卡固于该阶梯状套接段，具有一斜孔喷嘴及一直孔喷嘴，该斜孔喷嘴与该直孔喷嘴分别连接于该坩锅。
2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：该坩锅为一筒状结构，该筒状结构为圆形或方形，该喷嘴盖体具有一嵌槽，该坩锅的该开口处的筒壁可嵌合入该嵌槽，该斜孔喷嘴的中心线与该喷嘴盖体的中心线之间具有一夹角。
3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于：该夹角为3～40度角，该夹角为5～20度角，该夹角为8～15度角。
4.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：该直孔喷嘴的中心线平行于该喷嘴盖体的中心线。
5.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：该斜孔喷嘴的轴线与该直孔喷嘴的轴线相交。
6.一种蒸发源装置，包含：
一坩锅，其上侧配设一内阶梯状套接段，并具有一第一容置空间及一第二容置空间；以及
一喷嘴盖体，设置于该坩锅的该阶梯状套接段，具有一斜孔喷嘴及一直孔喷嘴，该斜孔喷嘴与该直孔喷嘴分别连接于该第一容置空间及该第二容置空间。
7.根据权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于：该一第一容置空间及该第二容置空间分别容纳有第一蒸发材料及第二蒸发材料。
8.根据权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于：该坩锅为一筒状结构，且该筒状结构为长方形，或狭长形。
9.一种蒸发源装置，其包含：
一坩锅，其上侧配设一内阶梯状套接段，并具有一第一容置空间及一第二容置空间；以及
一喷嘴盖体，具有一嵌合部，该喷嘴盖体经由该嵌合部而与该坩锅的该阶梯状套接段卡固连接，该喷嘴盖体并具有数个斜孔喷嘴及数个直孔喷嘴。
10.根据权利要求9所述的蒸发源装置，其特征在于：该嵌合部更具有一阶梯状套接段，该嵌合部更具有一凹设的嵌槽。
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