[发明专利]一种吸盘式取硅片机构

权利要求书

1. 一种吸盘式取硅片机构，包括机架（9）、安装在机架（9）上的升降装置、移动式吸盘装置和硅片输送装置；移动式吸盘装置与升降装置相对应，硅片输送装置设置在左右两个升降装置的中间，用于将移动式吸盘装置吸取的硅片（11）输送出；其特征在于：机架（9）上设有上台板（4）和下台板（13）；升降装置安装在机架（9）下台板（13）上，升降装置左右各有一个，用于将叠放在一起的硅片（11）按指定距离抬升；移动式吸盘装置安装在上台板（4）上，用于左右交替地吸取升降装置上的硅片（11），并交替地将硅片（11）放置在硅片输送装置上；硅片输送装置安装在下台板（13）上；

所述升降装置包括有硅片座（12）、升降杆（14）、第二直线导轨（15）、第二丝杆（16）、第二轴承（17）、支撑座（18）、第二联轴器（19）、电机支撑杆（20）和第二伺服电机（21），支撑座（18）安装在下台板（13）的下表面上，第二丝杆（16）通过第二轴承（17）竖直安装在支撑座（18）上，第二伺服电机（21）利用电机支撑杆（20）安装在支撑座（18）的下端，第二伺服电机（21）的输出轴通过第二联轴器（19）与第二丝杆（16）连接，第二丝杆（16）上装配有竖直移动块（41），第二丝杆（16）与竖直移动块（41）构成螺纹传动副；第二直线导轨（15）固定在支撑座（18）上，第二直线导轨（15）起到导正竖直移动块（41）的作用，在第二直线导轨（15）上安装有第二滑块（44），第二滑块（44）与竖直移动块（41）连接；升降杆（14）与第二滑块（44）相连接，在下台板（13）上开设有孔，升降杆（14）穿过该孔，升降杆（14）的上端安装硅片座（12）；

所述移动式吸盘装置包括有丝杆固定座（1）、第一丝杆（2）、第一直线导轨（3）、固定板（5）、气缸（6）、真空吸盘（7）、吸盘固定板（8）、第一伺服电机（37）和第一轴承39组成，丝杆固定座（1）固定在上台板（4）上，第一丝杆（2）通过第一轴承（39）安装在丝杆固定座（1）上，在其中一个丝杆固定座（1）的外侧固定有第一伺服电机（37），第一伺服电机（37）的输出轴与第一丝杆（2）连接；第一丝杆（2）上装配有水平移动块（40），第一丝杆（2）与水平移动块（40）构成螺纹传动副；第一直线导轨（3）固定在上台板（4）上，在第一直线导轨（3）上安装有第一滑块（43），水平移动块（40）与第一滑块（43）连接，第一直线导轨（3）起支撑并导正水平移动块（40）的作用；固定板（5）连接在第一滑块（43）上；气缸（6）的缸体尾端固定在固定板（5）的前端两侧，气缸（6）的活塞杆端向下连接有吸盘固定板（8），在吸盘固定板（8）上安装有至少一个真空吸盘（7）；

所述硅片输送装置包括有前滚轮轴（22a）、后滚轮轴（22b）、第三轴承（23）、前滚轮（24a）、后滚轮（24b）、输送带（25）、支撑板（26）、第四轴承（27）、平键（28）、传动轮（29）、传动轴（30）和第三伺服电机（33），支撑板（26）固定在下台板（13）上，第三伺服电机（33）固定在支撑板（26）上，传动轴（30）通过第四轴承（27）安装在支撑板（26）上，第三伺服电机（33）的输出轴与传动轴（30）连接，在传动轴（30）上安装有传动轮（29），传动轮（29）与传动轴（30）通过平键（28）连接传动；在传动轴（30）上前方和上后方的支撑板（26）上分别安装有前滚轮轴（22a）和后滚轮轴（22b），前滚轮轴（22a）和后滚轮轴（22b）上分别通过第三轴承（23）安装有前滚轮（24a）和后滚轮（24b）；传动轮（29）、前滚轮（24a）和后滚轮（24b）配装有输送带（25），传动轮（29）带动输送带（25）转动，输送带（25）将放置在其上的硅片（11）输送出；

所述吸盘式取硅片机构还包括用于将被吸的硅片（11）与其他硅片（11）分开的喷气装置，喷气装置设置在升降装置的外侧，喷气装置包括有固定块（10）、喷气管（34）和气管接头（35），固定块（10）固定在下台板（13）上，喷气管（34）安装在固定块（10）上，喷气管（34）上开设有径向的喷气孔（42）；喷气管（34）的一端连接气管接头（35），气管接头（35）与气源相连通。

2.如权利要求1所述的吸盘式取硅片机构，其特征还在于，所述真空吸盘（7）为4个，4个真空吸盘（7）安装在吸盘固定板（8）的四角上。