[发明专利]铜锌镉锡硫硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法有效
| 申请号: | 201010118303.5 | 申请日: | 2010-03-05 |
| 公开(公告)号: | CN101771106A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
| 发明(设计)人: | 黄富强;王耀明;丁尚军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 铜锌镉锡硫硒 薄膜 太阳电池 光吸收 制备 方法 | ||
1.一种铜锌镉锡硫硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法,其特征在于采用非真空有机胶体溶液法,具体包括以下工艺步骤:
(1)有机胶体源溶液的制备:按通式Cu2-a(Zn1-bCdb)1+cSn1-cS4-dSed中铜、锌、镉、锡的化学计量比,将铜、锌、镉、锡的卤族化合物溶解于含有强配位基团的有机溶剂中,然后引入硫源和硒源,形成稳定的含铜、锌、镉、锡、硫和硒的有机胶体源溶液,其中通式中0≤a≤0.8,0≤b≤1,0≤c≤0.5,0≤d≤4;
(2)铜锌镉锡硫硒前驱薄膜的制备:将步骤(1)制备的含铜、锌、镉、锡、硫和硒的有机胶体源溶液通过非真空液相工艺,在衬底上制备出前驱薄膜;
(3)铜锌镉锡硫硒薄膜的热处理:将步骤(2)制备的铜锌镉锡硫硒前驱薄膜,经干燥,并退火后,形成目标铜锌镉锡硫硒化合物薄膜。
2.按权利要求1所述的方法,其特征在于:
(a)步骤(1)中所述铜的卤族化合物为CuX和CuX2中的一种或几种的混合,其中X为氯、溴和碘中的一种或几种的混合;
(b)步骤(1)中所述锌的卤族化合物为ZnX2,其中X为氯、溴和碘中的一种或几种的混合。
(c)步骤(1)中所述镉的卤族化合物为CdX2,其中X为氯、溴和碘中的一种或几种的混合;
(d)步骤(1)中所述锡的卤族化合物为SnX2和SnX4中的一种或几种的混合,其中X为氯、溴和碘中的一种或几种的混合。
3.按权利要求1所述的方法,其特征在于:
步骤(1)中所述的含有强配位基团的溶剂为乙二胺、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、环定砜、吡啶和肼类溶剂R4R5N-NR6R7中的一种或几种的混合物,所述的肼类化合物R4R5N-NR6R7中的R4、R5、R6、R7分别独立表示芳香基、氢基、甲基、乙基或3-6个碳原子的烷基。
4.按权利要求1所述的方法,其特征在于(a)步骤(1)中所述的引入硫源为硫单质、硫化氢、硫化铵、硫的胺类盐、硫的肼类盐中的一种或几种的混合;(b)步骤(1)中所述的引入硒源为硒单质、硒化氢、硒化铵、硒的胺类盐、硒的肼类盐中的一种或几种的混合。
5.按权利要求4所述的方法,其特征在于:
a)其中所述的硫、硒的胺类盐为硫化氢或硒化氢与N-R1R2R3形成的各种盐,其中R1、R2、R3分别独立表示芳香基、氢基、甲基、乙基或3-6个碳原子的烷基;
b)其中所述的硫、硒的肼类盐为硫化氢或硒化氢与R4R5N-NR6R7形成的各种盐,其中R4、R5、R6、R7分别独立表示芳香基、氢基、甲基、乙基或3-6个碳原子的烷基。
6.按权利要求1所述的方法,其特征在于:
a)步骤(2)制备前驱薄膜的非真空液相工艺为旋涂法、流延法、提拉法、丝网印刷法、喷墨打印法或滚涂法。
b)步骤(2)所述的衬底为镀钼的玻璃、镀钼的陶瓷、镀钼的钛箔、镀钼的不锈钢箔或镀钼的聚酰亚胺膜。
7.按权利要求1所述的方法,其特征在于所述的前驱薄膜的退火温度为400℃~650℃,退火时间为10min~120min。
8.按权利要求1所述的方法,其特征在于所制备的铜锌镉锡硫硒薄膜太阳电池光吸收层厚度为500nm~3000nm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





