[发明专利]一种改善Eu3+离子掺杂Lu2O3薄膜发光衰减的方法

权利要求书

1.一种改善Eu³⁺离子掺杂Lu₂O₃薄膜发光衰减的方法，其特征在于该方法具有如下工艺过程和步骤：

a.用溶胶-凝胶法制备前驱物溶胶：将LuCl₃·6H₂O粉末加入到无水乙醇中，在100℃下搅拌2～3h后使得粉末完全溶解获得透明溶液，其中Lu³⁺的浓度为0.256mol/L；此后加入分子量为6000的聚乙二醇、柠檬酸及少量水在室温下继续搅拌2～3h后得到透明的溶胶，其中聚乙二醇和柠檬酸与LuCl₃·6H₂O的质量比分别为1∶2～5和1∶0.6～1，加入的水和乙醇的体积比为1∶8～10；而后按照溶胶中Eu³⁺和Lu³⁺的摩尔比为1∶20，加入Eu(NO₃)₃溶液，并加入所需共掺量的Pr(NO₃)₃溶液到溶胶中，共掺Pr³⁺浓度为0.1～0.5mol％，搅拌半小时后即可得到所需要的前驱物溶胶；

b.薄膜的旋涂制备和煅烧：将步骤a的前驱物溶胶滴到单晶硅衬底表面，使用匀胶机在3000r/min的转速下使胶体均匀地涂覆在基片上，将被旋涂上薄膜的基片每次用烤胶机在180℃下热处理20min；这样重复旋涂和热处理操作10～20次后，将旋涂过的硅片在1000℃空气氛下煅烧1h就能制备出Eu³⁺、Pr³⁺共掺的Lu₂O₃薄膜。