[发明专利]复合传感器、电子设备

权利要求书

1.一种复合传感器，其特征在于，

具有封装件，所述封装件具备：具有第一气压的第一空间；具有比所 述第一气压低的第二气压的第二空间，

在所述第一空间配置有加速度传感器元件，

在所述第二空间配置有振动型角速度传感器元件，

所述第一空间的容积比所述第二空间的容积小，

所述封装件具有收容器、盖体以及划分部，

所述第一空间及所述第二空间由所述划分部划分，

在所述收容器和所述盖体的至少一方设有凸部，在俯视观察时与所述 凸部重叠的位置配置有所述加速度传感器元件。

2.根据权利要求1所述的复合传感器，其特征在于，

在形成所述第一空间的壁及形成所述第二空间的壁的至少一方设有 贯通孔，所述贯通孔由密封部件密封。

3.根据权利要求1或2所述的复合传感器，其特征在于，

形成所述第一空间的底面的高度与形成所述第二空间的底面的高度 彼此不同。

4.根据权利要求1或2所述的复合传感器，其特征在于，

所述收容器及所述盖体中至少一方由层叠构造构成。

5.一种电子设备，其使用了权利要求1～4中任一项所述的复合传感 器。