[发明专利]追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法

权利要求书

1.一种追踪式激光干涉仪，其特征在于：

该追踪式激光干涉仪包括：

光源；

回归反射体，安装在移动体上，反射来自上述光源的光；

参照面，反射来自上述光源的光；

第一接受光装置，接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的 光的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号；

第二接受光装置，接受上述返回光，输出根据受光量以及上述返回光的偏移量 的受光信号；

变更机构，变更来自上述光源的光的射出方向；

变更机构控制装置，根据来自上述第二接受光装置的受光信号，使得上述变更 机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内；以及

距离计算装置，使用来自上述第一接受光装置的受光信号，计算从所定基准点 至上述回归反射体的距离；

上述变更机构控制装置包括：

第一判定部，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号， 判定上述各接受光装置的受光量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第 一阈值以下；

图形射出控制部，由上述第一判定部判定至少一方的接受光装置的受光量为上 述第一阂值以下场合，控制上述变更机构，使得来自上述光源的光沿所定图形射出；

第二判定部，通过上述图形射出控制部控制上述变更机构期间，根据来自上述 第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判定上述各接受光装置的受光 量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第二阈值以上；

存储部，通过上述第二判定部判定上述各接受光装置的上述受光量都为上述第 二阈值以上场合，存储此时的来自上述光源的光的射出方向；

再次开始用控制部，控制上述变更机构，使来自上述光源的光沿上述存储部中 存储的射出方向射出。

2.一种追踪式激光干涉仪，其特征在于：

该追踪式激光干涉仪包括：

光源；

回归反射体，安装在移动体上，反射来自上述光源的光；

参照面，反射来自上述光源的光；

第一接受光装置，接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的 光的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号；

第二接受光装置，接受上述返回光，输出根据受光量以及上述返回光的偏移量 的受光信号；

变更机构，变更来自上述光源的光的射出方向；

变更机构控制装置，根据来自上述第二接受光装置的受光信号，使得上述变更 机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内；以及

距离计算装置，使用来自上述第一接受光装置的受光信号，计算从所定基准点 至上述回归反射体的距离；

上述变更机构控制装置包括：

第一判定部，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置之中某一方 的受光信号，判定上述一方的接受光装置的受光量是否为所定的第一阈值以下；

图形射出控制部，由上述第一判定部判定上述受光量为上述第一阈值以下场合， 控制上述变更机构，使得来自上述光源的光沿所定图形射出；

第二判定部，通过上述图形射出控制部控制上述变更机构期间，根据来自上述 一方的接受光装置的受光信号，判定上述一方的接受光装置的受光量是否为所定的 第二阈值以上；

存储部，通过上述第二判定部判定上述受光量为上述第二阈值以上场合，存储 此时的来自上述光源的光的射出方向；

再次开始用控制部，控制上述变更机构，使来自上述光源的光沿上述存储部 中存储的射出方向射出。

3.按照权利要求1或2所述的追踪式激光干涉仪，其特征在于：

上述图形系在通过所定点、且与上述光的射出方向直交的平面内，一边以上述 所定点为中心回转，一边逐渐朝外侧的涡流状图形，上述所定点系由上述第一判定部 判定上述受光量为上述第一阈值以下时来自上述光源的光的射出方向上的所定点。