[发明专利]测定多面反射镜用电机的轴的倾倒的测定装置及测定方法

说明书

技术领域

本发明涉及测定多面反射镜用电机的轴的倾倒的测定装置及测定方法，特别是，涉及以非接触的方式测定电机的轴的倾倒的测定装置以及测定方法。

背景技术

以往，在测定多面反射镜用电机的轴的倾倒时，例如如下地进行。首先，以相对于轴的轴向垂直的方式将平板反射镜安装在轴的前端。然后，使用自动准直仪检测反射镜的倾斜。这样，计算出轴的倾倒。

例如，在日本专利特开昭60-211302号公报(专利文献1)中公开有外周面为平滑面的圆柱状被测定物的倾斜角的测定方法。该测定方法以非接触的方式测定被测定物的倾斜角并且计算圆柱状的被测定物的倾倒角。使用图8具体说明专利文献1公开的现有的测定方法。

如图8所示，从光源101射出的激光通过光轴102向被测定物103照射并被放射状地反射。反射光包括沿光轴102方向行进(向光源101方向返回)的反射光、沿与光轴102成α角度的第一光路104行进的反射光、沿第二光路105行进的反射光。沿第一光路104行进的反射光被第一反射镜106向上方反射并被第一图像传感器107接收。另外，沿第二光路105行进的反射光被第二反射镜108向上方反射并被第二图像传感器109接收。另外，沿光轴102方向行进的反射光被半透半反镜110向上方反射并且被第三图像传感器111接收。根据由三个图像传感器检测到的三个相对位置来算出被测定物的倾倒角。

在上述专利文献1的方法中，若要检测轴倾倒的Y轴成分，则必须将Y轴测定用的第三图像传感器111设置在光源位置方向。另外，为了避免第三图像传感器111和光源101重合，使用半透半反镜110使反射光的行进路线变化。因此，需要半透半反镜110等光学系统。为了消除光学系统的设置误差等的影响，具有必须准备无轴倾倒的校正用被测定物来进行偏移调整的课题。

发明内容

本发明的测定多面反射镜用电机的轴的倾倒的测定装置具有如下的结构：射出测定光的光源；第一光检测元件，其直接接收测定光被被测定轴反射后的反射光的一部分来检测第一受光位置；第二光检测元件，其直接接收所述反射光的其他一部分来检测第二受光位置，根据从第一光检测元件输出的信号和从第二光检测元件输出的信号来测定所述轴的倾倒角度。

另外，本发明的测定多面反射镜用电机的轴的倾倒的测定方法具有如下的构成：从光源射出测定光，利用第一光检测元件直接接收测定光被被测定轴反射后的反射光的一部分来检测第一受光位置，利用第二光检测元件直接接收所述反射光的其他一部分来检测第二受光位置，根据从第一光检测元件输出的信号和从第二光检测元件输出的信号来测定所述轴的倾倒角度。

本发明通过上述结构，只要由光检测元件直接接收将测定光向轴照射并被放射状扩散后的反射光即可，故而能够不使用半透半反镜等光学系统而进行高精度的轴倾倒测定。

附图说明

图1是表示本发明实施方式的测定多面反射镜用电机的轴的倾倒的测定装置以及测定方法的示意结构的图；

图2是在图1中从上方看到的、被测定轴的图；

图3是X轴成分测定用的第一光检测元件的正面图；

图4是从图1所示的箭头标记a方向相对于XY平面平行地观察时的平面图；

图5是从图1所示的箭头标记b方向相对于XY平面平行地观察时的平面图；

图6是从Z轴方向观察图1所看到的XY平面图；

图7是从XY平面方向观察图1所看到的平面图；

图8是表示现有的测定多面反射镜用电机的轴的倾倒的测定装置示意结构的图。

具体实施方式

以下，参照优选的实施方式对本发明进行详细说明。但是，本发明不限于以下的实施方式。

图1是表示本发明实施方式的测定多面反射镜的轴的倾倒的测定装置以及测定方法的示意结构的图。

如图1所示，将作为测定对象物的多面反射镜用电机的轴(被测定轴)1配置在由铁板构成的测定台2之上。在本实施方式中，以被测定轴1与测定台2的接触部分作为原点，在测定台的主面上，将任意方向设定为X轴并且将与X轴成直角的方向设定为Y轴。

另外，将第一光检测元件3和第二光检测元件4以与被测定轴1成同一直线状的方式配置。在本实施方式中，进而将连接第一光检测元件3和第二光检测元件4的直线相对于测定台2平行地配置。

另外，第一光检测元件3是X轴测定用的光检测元件。第一光检测元件3直接接收从光源5射出的测定光6被被测定轴1反射后的反射光7。这样，第一光检测元件3检测第一受光位置。