[发明专利]一种激光扩束系统

权利要求书

1.一种激光扩束系统，其特征在于，包括：位于光束的入射方向依序排列的第一、二、三透镜，所述第一透镜为凸平型的正透镜，所述第二透镜为双凹型的负透镜，所述第三透镜为平凸型的正透镜，改变第一透镜和第二透镜在光轴上的间距为d2，以及第二透镜和第三透镜之间在光轴上的间距d4，且间距d2和间距d4满足关系式：2mm≤d2≤40mm，96mm≤d4≤100mm，间距d2和间距d4公差范围为±5％，可将最大直径为2.2mm入射激光束经过本扩束系统后，扩束倍数达3-10倍后，仍是一束平行光射出。

2.如权利要求1所述的激光扩束系统，其特征在于：第一透镜分别由曲率半径为R1为33mm、R2为0mm的两个曲面构成，其光轴上的中心厚度d1为3mm，且其公差范围为±5％，材料为Nd1∶Vd1为1.46/68，且其公差范围为±5％；第二透镜分别由曲率半径为R3为-16mm、R4为3.3mm的两个曲面构成，其光轴上的中心厚度d3为1mm，且其公差范围为±5％，材料为Nd3∶Vd3为1.46/68，且其公差范围为±5％；第三透镜分别由曲率半径为R5为0mm，R6为-70mm的两个曲面构成，其光轴上的中心厚度d5为4mm，且其公差范围为±5％，材料为Nd5∶Vd5为16./41，且其公差范围为±5％；且入射光斑最大直径为2.2mm、波长为355nm的紫外光。

3.如权利要求2所述的激光扩束系统，其特征在于：当第一透镜和第二透镜在光轴上的间距为d2＝40mm，第二透镜L2和第三透镜L3之间在光轴上的间距d4＝96mm时，扩束倍数β为3，且间距d2和间距d4公差范围为±5％。

4.如权利要求2所述的激光扩束系统，其特征在于：当第一透镜和第二透镜在光轴上的间距为d2＝29mm，第二透镜L2和第三透镜L3之间在光轴上的间距d4＝98mm时，扩束倍数β为5，且间距d2和间距d4公差范围为±5％。

5.如权利要求2所述的激光扩束系统，其特征在于：当第一透镜和第二透镜在光轴上的间距为d2＝2mm，第二透镜L2和第三透镜L3之间在光轴上的间距d4＝100mm时，扩束倍数β为10，且间距d2和间距d4公差范围为±5％。