[发明专利]一种用浸渍裂解法制备高密度再结晶碳化硅制品的方法

权利要求书

1.一种用浸渍裂解法制备高密度再结晶碳化硅制品的方法，包括以下步骤：

(1)将密度为2.45g/cm³～2.70g/cm³的普通再结晶碳化硅制品清洗干净，并在100℃～120℃下干燥；

(2)将分子量为1200～3000的聚碳硅烷溶解于二甲苯溶液中，再加入平均粒径为0.5微米～2微米的碳化硅微粉，配制成含碳化硅微粉、聚碳硅烷和二甲苯的浸渍浆料，其质量分数为：

碳化硅微粉    10～50份，

聚碳硅烷      20～50份，

二甲苯        50～75份；

(3)将经步骤(1)处理的再结晶碳化硅制品置于真空浸渍室内，启动真空泵，待真空室内的压力小于10Pa时，将浸渍浆料吸入真空室内，使溶液完全浸没再结晶碳化硅制品，根据产品厚度不同，每次浸渍时间为15分钟～60分钟；

(4)将浸渍后的再结晶碳化硅制品取出，在60℃～90℃下干燥，即完成一个浸渍周期；

(5)根据制品的气孔率和密度要求，重复步骤(3)和步骤(4)；每重复一次步骤(3)和步骤(4)为1个浸渍周期，重复2个至6个浸渍周期，得浸渍再结晶碳化硅制品；

(6)将浸渍再结晶碳化硅制品置于真空气氛炉中，在真空条件下以每分钟5℃～10℃的速率升温至700℃～800℃，保持1小时～2小时，使聚碳硅烷裂解；待聚碳硅烷裂解完成后，通入氩气至大气压力，再以每分钟5℃～10℃的速率升温至1400℃～2400℃，得到高密度再结晶碳化硅制品。

2.根据权利要求1所述用浸渍裂解法制备高密度再结晶碳化硅制品的方法，其特征是，所述高密度再结晶碳化硅制品的体积密度为2.85～2.95g/cm³，其开口气孔率为3～5％，室温抗弯强度为110～130MPa，1400℃的高温抗弯强度为130～150MPa。