[发明专利]一种MEMS光谱仪运动补偿系统及方法

权利要求书

1.一种MEMS光谱仪运动补偿系统，包括MEMS光学器件(1)，其特征在于，还包括运动信号传感器(2)、运动信号放大器(3)、运动信号AD转换器(4)、运动补偿控制处理器(5)、MEMS器件驱动DA转换器(6)、MEMS器件驱动放大器(7)、温度传感器(8)；所述MEMS光学器件(1)处于恒温箱体内，运动信号传感器(2)采集MEMS光学器件(1)的运动信号，并与运动信号放大器(3)连接，运动信号放大器(3)与运动信号AD转换器(4)连接，运动信号AD转换器(4)与运动补偿控制处理器(5)连接，运动补偿控制处理器(5)与MEMS器件驱动DA转换器(6)连接，MEMS器件驱动DA转换器(6)与MEMS器件驱动放大器(7)连接，MEMS器件驱动放大器(7)与MEMS光学器件(1)连接，驱动MEMS光学器件(1)；所述温度传感器(8)与运动补偿控制处理器(5)相连。

2.如权利要求1所述的一种MEMS光谱仪运动补偿系统，其特征在于，所述运动补偿控制处理器(5)采用嵌入式微处理器ARM。

3.采用了如权利要求1所述的一种MEMS光谱仪运动补偿系统的运动补偿方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

1)编制MEMS光学器件标准的运动轨迹数据表；

2)编制MEMS光学器件运动补偿信号数据表，该数据表采用PID控制算法，计算出不同温度条件下，MEMS光学器件在不同运动幅度、不同运动位置时合适的运动补偿控制信号并列表保存待查；

3)启动光谱仪，MEMS光学器件进行周期性运动；

4)由运动信号传感器、运动信号放大器、运动信号AD转换器组成的运动信号检测系统检测MEMS光学器件的运动轨迹；

5)和标准的运动轨迹数据进行比较，判断运动轨迹是否正常；

6)若运动轨迹正常则回到步骤4)；

7)若运动轨迹不正常，则查询MEMS光学器件运动补偿信号数据表，根据数据表提供的补偿信号调节MEMS光学器件的驱动信号，使之保持标准的运动轨迹。

4.如权利要求3所述的一种MEMS光谱仪运动补偿方法，其特征在于，步骤7)中所述MEMS光学器件的驱动信号是PWM波，通过调整PWM波的幅值来调节MEMS光学器件的运动轨迹。

5.如权利要求3所述的一种MEMS光谱仪运动补偿方法，其特征在于，步骤7)中所述MEMS光学器件的驱动信号是PWM波，通过调整PWM波的相位来调节MEMS光学器件的运动轨迹。

6.如权利要求3所述的一种MEMS光谱仪运动补偿方法，其特征在于，步骤7)中所述MEMS光学器件的驱动信号是PWM波，通过调整PWM波的占空比来调节MEMS光学器件的运动轨迹。