[发明专利]搬送腔室和颗粒附着防止方法

权利要求书

1.一种搬送腔室，其设置于在减压环境中对被处理基板实施规定 处理的减压处理部和将被处理基板保持在大气压环境中的大气系统保 持部之间，在所述减压处理部和所述大气系统保持部之间搬送所述被 处理基板，所述搬送腔室的特征在于，包括：

腔室主体，其收纳所述被处理基板；

排气装置，其为了使所述腔室主体的内部为所述减压环境，进行 从所述腔室主体的排气；

气体供给装置，其为了使所述腔室主体的内部为所述大气压环境， 将规定的气体供给至所述腔室主体；

离子化气体供给装置，其在所述腔室主体的外部具备使所述规定 的气体离子化的离子化装置，将在所述离子化装置中产生的离子化气 体供给至所述腔室主体。

2.一种颗粒附着防止方法，其是使用搬送腔室在减压处理部和大 气系统保持部之间搬送被处理基板时防止颗粒向所述被处理基板附着 的方法，所述搬送腔室包括设置于在减压环境中对被处理基板实施规 定处理的减压处理部和将被处理基板保持在大气压环境中的大气系统 保持部之间、内部能够在减压环境和大气压环境之间进行切换的腔室 主体，用于在所述减压处理部和所述大气系统保持部之间搬送被处理 基板，所述颗粒附着防止方法的特征在于，包括：

收纳步骤，其将被处理基板收纳于所述腔室主体；

除电步骤，一边将在所述腔室主体的外部产生的离子化气体供给 至所述腔室主体，一边从所述腔室主体排气，对所述被处理基板进行 除电。

3.如权利要求2所述的颗粒附着防止方法，其特征在于：

所述收纳步骤通过将所述被处理基板从所述减压处理部搬入所述 腔室主体来进行，

在所述除电步骤中，一边将所述离子化气体供给至所述腔室主体， 一边从所述腔室主体排气，由此使所述腔室主体从所述减压环境向所 述大气压环境转变。

4.如权利要求2所述的颗粒附着防止方法，其特征在于：

所述收纳步骤通过将所述被处理基板从所述大气系统保持部搬入 所述腔室主体来进行，

在所述除电步骤中，一边将所述离子化气体供给至所述腔室主体， 一边从所述腔室主体排气，由此使所述腔室主体的内部从所述大气压 环境向所述减压环境转变。

5.如权利要求4所述的颗粒附着防止方法，其特征在于：

在所述除电步骤中，通过反复进行减压和升压，使所述腔室主体 的内部从所述大气压环境向所述减压环境转变。

6.如权利要求2～5中任一项所述的颗粒附着防止方法，其特征在 于：在所述除电步骤中，作为所述离子化气体，使用将为了调整所述 腔室主体的压力而被供给至所述腔室主体的清扫气体离子化而产生的 气体。