[发明专利]单晶炉装置无效
| 申请号： | 201010112338.8 | 申请日： | 2010-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101838846A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 舟桥启;贺贤汉;河野贵之 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200444 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉装置，包括热屏和石英坩埚，其特征在于，所述热屏是由断热材、反射板组成，断热材设置在英坩埚的上方，其下部直径小于上部直径，断热材的内侧放置有反射板，反射板环绕拉晶中的晶棒，反射板与断热材之间未预留空间。
2.如权利要求1所述的单晶炉装置，其特征在于，反射板采用即使长时间暴露在高温中变形仍然很小、辐射率很低的钼或者钨。
3.如权利要求1或2所述的单晶炉装置，其特征在于，反射板为作过镜面处理的反射板。
4.如权利要求1或2所述的单晶炉装置，其特征在于，热屏上部设置上部断热材。
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