[发明专利]探针卡及用于该探针卡的印刷电路板

说明书

技术领域

本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种电源完整性好的探针卡；本发明还涉及一种用于该探针卡的印刷电路板。

背景技术

在晶圆或电子元件进行测试时，测试机可以一探针卡(probecard)作为媒介，将测试讯号自该探针卡输入至一待测物(deviceunder test，简称DUT)，并通过该探针卡将测试结果回传至测试机以进行后续的检测、分析。

以晶圆测试为例，受限于测试机的体积、价格等因素，半导体厂对待测物进行测试时，通常只能利用数量、型号有限的测试机台予以测试。由于待测物的测试规格、种类、数量彼此相异，在测试机受限的情况下，测试机无法满足各种不同工艺或是不同种类待测物的测试条件。因此，现有技术是通过测试机内部的程序变化，或是针对探针卡进行改造，借以获取、扩充更多的测试兼容性。

现有探针卡的印刷电路板如图1所示，该印刷电路板1部分主要可区分为输入区2、走线区3与焊点区4三大区域，其中探针卡的多个探针(图中未示)可固设于焊点区4的对应焊点或接点。输入区2包含多个数组排列的焊垫5，该些焊垫5包含电源焊垫(powerpad)，藉以让测试机提供电源输入。该些电源焊垫通过走线区3内的金属布线进行空间转换，并电性连接至焊点区4相对应的电源焊垫或电源环(power ring)，以供应该些探针电源。其中，走线区3内不同区域或分层的电源金属布线定义为不同的电源平面(powerplane)，且由于印刷电路板1包含多组电源焊垫，因此亦相对应包含多个电源平面。

探针卡的印刷电路板为一多层结构，包含上述多个电源平面的分层，以及接地层与讯号层等。由于每一电源平面在走线区须利用一层或多层进行布线(layout)，使得电源平面容易因为穿层而产生结构上的缺陷，亦或是金属导线为了闪避密布于印刷电路板上且贯穿印刷电路板的讯号焊点，而使金属导线的布线路径过于复杂。所以，自电源焊垫输入的电源传经走线区的电源平面时，常常发生电压下降(voltage drop)或产生噪声干扰，如此将影响电源传抵探针的完整性，导致测试误差进而影响测试结果。另一方面，电源平面受限其布线于印刷电路板中，因此线路固定而扩充性不好，无法满足客户端多元的测试需求；若欲增加电源平面的数目，则须提升印刷电路板的布线层数，不仅实际操作上有难度，更将提升整体成本支出而有待解决。

发明内容

为此，发明的目的在于解决上述问题，进而提出一种电源完整性较好的探针卡，以避免来自测试机的电源供应发生过度的电源下降或噪声干扰；

本发明的另一目的在于提出一种电源平面可客制化、可随需求更替使用的探针卡。

为了实现前述目的，本发明将探针卡的电源平面独立于印刷电路板外，并利用外接导线或外接电源平面的方式，使直流电源供应(power supply)自输入区传抵焊点区。本发明提出一种用于探针卡的印刷电路板，该印刷电路板定义一焊点区、一走线区以及一输入区；该焊点区包含多个第一电源焊垫组，该输入区包含对应该些第一电源焊垫组的多个第二电源焊垫组，且该些第一电源焊垫组绝缘于该些第二电源焊垫组。

在上述一实施例中，本发明提出一种应用上述印刷电路板的探针卡，该探针卡包含至少一外接导线，该外接导线可电性连接第一电源焊垫组与第二电源焊垫组以供应电源。

在上述的另一实施例中，本发明提出一种应用上述印刷电路板的探针卡，该探针卡包含至少一外接电源平面，该外接电源平面可电性连接第一电源焊垫组与第二电源焊垫组以供应电源。

由于以外接导线或外接电源平面可避免电源因印刷电路板内的分层或布线而衰减，因此可以保持较好的电源完整性，并进而增进测试的准确度。另一方面，由于外接电源平面可客制化，可依需求更换，因此其兼容性高，可节省测试厂商的成本支出。有关本发明的详细技术内容及优选实施例，配合附图说明如后。

附图说明

本发明的实施例是结合附图予以描述：

图1为现有探针卡的一印刷电路板示意图；

图2-1为本发明一印刷电路板一实施例的结构示意图；

图2-2为本发明一印刷电路板一实施例的剖面示意图；

图3-1为本发明一探针卡实施例的俯视示意图；

图3-2为本发明一探针卡实施例的截面示意图；

图4-1为本发明另一探针卡实施例的俯视示意图；

图4-2为本发明另一探针卡实施例的截面示意图；

图5为本发明一外接电源平面实施例的结构示意图；

图6-1为本发明一外接电源平面用于一探针卡的截面示意图；