[发明专利]大流量全半导体新型尘埃粒子计数器的光学传感器

权利要求书

1.一种大流量全半导体尘埃粒子计数器的光学传感器，包括光源[1]、非球 面镜[2]、第一入射光阑[3]、第二入射光阑[4]、球面反射镜[6]、出射光阑[7]、 光陷阱[8]、喇叭口式遮挡光阑[9]和光电探测器[10]，在半导体激光光源[1]发 出的光束前进的方向上，依次设有非球面镜[2]、第一入射光阑[3]、第二入射光 阑[4]、出射光阑[7]和光陷阱[8]，与光路垂直方向上设置球面反射镜[6]、喇叭 口式遮挡光阑[9]、光电探测器[10]，光敏区[5]和光电探测器[10]光敏面的位置 分别位于该球面反射镜[6]球心的两侧，并满足几何光学的物像关系，喇叭口式 遮挡光阑[9]置于光电探测器[10]的前面，采样气路由采样气嘴[13]、出气嘴[14] 组成，两者相对于光敏区[5]对称设置；其特征在于：光源[1]采用大于等于100mW 的大功率半导体激光光源，喇叭口式遮挡光阑[9]的视窗和光电探测器[10]的尺 寸相同，增益可调前置放大电路[11]置于光电探测器[10]后面的外壳上；光电探 测器[10]采用高灵敏度光电二极管。

2.根据权利要求1所述的大流量全半导体尘埃粒子计数器的光学传感器， 其特征在于：光源[1]发出的激光光束经过非球面镜[2]聚焦，会聚在光敏区[5] 中心。

3.根据权利要求1所述的大流量全半导体尘埃粒子计数器的光学传感器， 其特征在于：第一入射光阑[3]、第二入射光阑[4]放置于光敏区[5]的前面，出 射光阑[7]放置于光敏区[5]的后面。

4.根据权利要求1所述的大流量全半导体尘埃粒子计数器的光学传感器， 其特征在于：光电探测器[10]与光敏区[5]之间的距离为2-5毫米。

5.根据权利要求1所述的大流量全半导体尘埃粒子计数器的光学传感器， 其特征在于：气路中的采样气嘴[13]、出气嘴[14]为有水平过渡的扁平气嘴。