[发明专利]精准定位溅镀装置及其定位方法

权利要求书

1.一种精准定位溅镀装置，包括主体、主体盖板、溅镀转盘、阴极、连接环、机械手、转盘驱动机构，所述主体开设有空腔，所述空腔包括相互连通的溅镀腔及输送腔，所述主体盖板固定在所述主体上并开设有分别与所述溅镀腔及输送腔对应连通的输送敞口及溅镀敞口，所述转盘驱动机构安装在所述主体上并与所述溅镀转盘连接，所述溅镀转盘开设有与光盘相匹配的承载腔，所述溅镀转盘中心处设有伸入所述承载腔用于固定光盘的定位轴芯，所述机械手设置于所述输送腔正上方，所述连接环与所述主体盖板连接并收容于所述主体盖板的溅镀敞口内，所述阴极安装于所述连接环上，所述阴极内设置有溅镀用靶材，所述机械手对位于所述输送腔内的溅镀转盘放置或取走光盘，放置有靶材的阴极对位于所述溅镀腔内的溅镀转盘上的光盘进行镀膜，所述转盘驱动机构驱动所述溅镀转盘在所述空腔内旋转将未溅镀的光盘载入和将溅镀后的光盘载出所述溅镀腔，其特征在于，还包括有定位夹具，所述定位夹具具有与所述溅镀转盘的定位轴芯相匹配的中心孔，所述定位夹具同轴地装配于所述连接环上，移动所述连接环与定位夹具使所述定位夹具的中心孔套于所述溅镀转盘的轴芯上，将连接环固定在所述主体盖板上，实现阴极与光盘之间的定位。

2.如权利要求1所述的精准定位溅镀装置，其特征在于，所述定位轴芯的直径为15毫米，所述中心孔与所述定位轴芯之间的公差介于0毫米至0.05毫米之间。

3.如权利要求1所述的精准定位溅镀装置，其特征在于，所述定位夹具为与所述连接环轮廓匹配的圆盘，所述圆盘沿上边缘凸伸出卡合部，所述卡合部与所述连接环卡合。

4.如权利要求3所述的精准定位溅镀装置，其特征在于，所述圆盘上对称开设有两辅助孔。

5.如权利要求4所述的精准定位溅镀装置，其特征在于，所述圆盘为铝合金材质。

6.如权利要求1所述的精准定位溅镀装置，其特征在于，所述溅镀转盘上开设有凹槽，所述凹槽内容设有密封圈，所述密封圈位于所述溅镀转盘与所述连接环之间。

7.一种使用如权利要求1所述的精准定位溅镀装置的定位方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)驱动转盘驱动机构将所述溅镀转盘旋转至主体内溅镀腔处并固定；

(2)将所述定位夹具套设在所述连接环上；

(3)移动连接环和夹具，使夹具的中心孔套在所述定位轴芯上；

(4)将所述连接环固定在主体盖板上，卸下所述夹具；

(5)将所述阴极安装到连接环上，完成定位过程。