[发明专利]一种可控容积式离子热处理装置无效
| 申请号： | 201010107005.6 | 申请日： | 2010-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN101851737A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 窦百香;刘伟 | 申请（专利权）人： | 窦百香;刘伟 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211400 江苏省扬州市仪征市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可控 容积 离子 热处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种容积可控式离子热处理装置，其特征在于：该装置主要由炉罩1、分装炉体4和阴极盘6组成。
2.如权利要求1所述的一种容积可控式离子热处理装置，其特征在于：
分装炉体4包括密封槽7、水冷层8和分装炉体把手9。
3.如权利要求1所述的一种容积可控式离子热处理装置，其特征在于：
分装炉体4与阴极盘6之间、分装炉体4与分装炉体4之间、分装炉体4与炉罩1之间均由密封圈3链接。
4.如权利要求1所述的一种容积可控式离子热处理装置，其特征在于：
分装炉体高度为100～2000mm。
5.如权利要求1所述的一种容积可控式离子热处理装置，其特征在于：
分装炉体4和炉罩1是可拆卸式的，安装分装炉体的个数为1～10个。
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