[发明专利]铟镧钛氧化物透明导电薄膜无效
申请号: | 201010106868.1 | 申请日: | 2010-02-09 |
公开(公告)号: | CN101752027A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 刘星元;刘晓新;王宁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B1/08 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 赵炳仁 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铟镧钛 氧化物 透明 导电 薄膜 | ||
【权利要求书】:
1.一种铟镧钛氧化物透明导电薄膜,其特征在于是在In2O3基体中掺杂La和Ti元素所构成的In-La-Ti-O氧化物,其中Ti与In的质量比为0.002∶1至0.3∶1,La和Ti的质量和与In的质量比为0.005∶1至0.4∶1。
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