[发明专利]X波段三位MEMS可调带通滤波器

权利要求书

1.一种X波段三位MEMS可调滤波器，包括集成于同一芯片上的两个输入或输出端口、 两个匹配电容网络C_M和两个LC谐振器；第一输入或输出端口通过第一匹配电容网络C_M与 第一LC谐振器相连；第二输入或输出端口通过第二匹配电容网络C_M与第二LC谐振器相连； 第一LC谐振器与第二LC谐振器耦合相连；整个滤波器相对于两个LC谐振器的耦合中心线 呈镜面对称结构；

所述输入或输出端口为渐变式微带线；

所述LC谐振器由一个正方形微带开口环和一个谐振电容网络C_L构成；其中，正方形微 带开口环的一端在水平方向上与匹配电容网络C_M相连、在垂直方向上与正方形微带开口环 另一端之间形成开口，开口中嵌入谐振电容网络C_L；

所述匹配电容网络C_M和谐振电容网络C_L的电路结构相同，包括三条并联支路，第一支 路由固定电容C₁₁和MEMS开关K₁串联，第二支路由固定电容C₂₁、C₂₂并联后与MEMS开 关K₂串联，第三支路由固定电容C₃₁、C₃₂、C₃₃并联后与MEMS开关K₃串联；第一直流偏 置电压Vb1施加于MEMS开关K₁上，第二直流偏置电压Vb2施加于MEMS开关K₂上，第 三直流偏置电压Vb3施加于MEMS开关K₃上；

所述匹配电容网络C_M和谐振电容网络C_L采用MEMS工艺制作于衬底(13)上，每个电 容网络包括三条相互平行的下电极板(4)；第一下电极板(4)上方横跨一条电容上电极板(5) 和一条MEMS开关上电极板(3)；第二下电极板(4)上方横跨两条电容上电极板(5)和一 条MEMS开关上电极板(3)；第三下电极板(4)上方横跨三条电容上电极板(5)和一条 MEMS开关上电极板(3)；所有电容上电极板(5)两端固定连接在上电极板支撑金属结构 (6)上；所有MEMS开关上电极板(3)两端通过弹性弯曲金属梁(11)连接在MEMS开 关上电极板支撑金属结构(7)上；

第一、第二和第三下电极板(4)分别通过各自的直流偏置线(14)输入第一、第二和第 三直流偏置电压Vb1、Vb2和Vb3；MEMS开关上电极板(3)通过一根直流偏置线(14)与 直流偏置电压地电位相连；电容上电极板(5)和MEMS开关上电极板(3)作为电容网络的 输入输出端连接交流信号。

2.根据权利要求1所述的X波段三位MEMS可调滤波器，其特征在于，电容网络中的 下电极板(4)的上表面具有绝缘介质层(12)。

3.根据权利要求2所述的X波段三位MEMS可调滤波器，其特征在于，所述绝缘介质 层(12)为二氧化硅介质层。