[发明专利]排风管道防渗漏连接结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种连接结构，尤其涉及一种排风管道防渗漏连接结构。

背景技术

在半导体芯片生产过程中，会产生大量有害的腐蚀性废气(以下简称废气)。，请结合参阅图1。图1所示为半导体制造所产生的废气的处理流程图。废气经过本地的酸洗设备处理后再经过排风管道排至厂务主排风系统5。考虑到废气成分的复杂性、腐蚀性和有害性等因素，排风管道(不锈钢管)的内壁通常设有极其耐腐蚀的特氟隆(TEF)镀膜。在长期的使用过程中，可以发现远离法兰的管道表面不会被腐蚀，但是在法兰及其附近经常会发现有明显腐蚀或粉尘沉积的现象，这说明有一定量的废气沿着法兰处向外渗漏。据生产实践统计，大约2个月左右就需要更换法兰。排风管道在法兰连接处的渗漏一方面增加了维护成本，另一方面更为重要的是对周围的工作环境造成了污染。

下面以两根4”的排风管道连接时的工作情况为例，可以分析出法兰处渗漏的具体原因：请参阅图2，图2所示为现有的排风管道连接结构示意图。其中，排风管道包括第一排风管道2和第二排风管道3。所述第一排风管道2和第二排风管道3通过分别设置在各自对接端上的法兰4连接，两个所述法兰4的接合面设有密封垫圈。安装时，采用螺栓将两个法兰4和密封垫圈紧紧地固定在一起。

当系统正常运行时，厂务主排风系统5会有大约700Pa的负压，通过酸洗设备处理后的废气是含湿量很高的腐蚀性气体。由于厂务主排风系统5负压的作用，含湿量很高的腐蚀性气体会通过第一排风排风管道1及第二排风管道3排入厂务主系统。通过使用风速测量仪，可以测得排风管道(第一排风管道2和第二排风管道3)的中心处的风速最大(约为12m/s～15m/s)，但是，越接近排风管道的内壁其风速越小，在排风管道内壁处的风速接近0m/s。这是由于内壁对废气具有摩擦力阻碍废气流动造成的。总的来说，离排风管道内壁越近，摩擦力越大，对管路内废气的阻力越大。如此会导致含湿量很高的腐蚀性废气会附着在第一排风管道2和第二排风管道3的内壁上，在同样也会附着在第一排风管道2和第二排风管道3的法兰连接处。

由于排风管道的内壁设有特氟隆(TEF)镀膜能够有效的抵抗管内废气的腐蚀，防止排风管道受到腐蚀。但是，在第一排风管和第二排风管的法兰4连接处会有微量的废气沿着法兰4结合面向外界的大气扩散。经过一段时间后，扩散到大气中的腐蚀性废气会逐渐把法兰及其周围的第一排风管道和第二排风管道的外壁腐蚀。由于第一排风管道和第二排风管道的外壁一般不设有特氟隆(TEF)镀膜，因此，第一排风管道和第二排风管道的外壁的抗腐蚀能力较差。因此，渗漏的废气会由外向内腐蚀排风管道。然后，会进入一个恶性循环，废气从排风管道的法兰连接处向外渗漏的速度越来越快，排风管道的外壁受到腐蚀的程度越来越重。

目前的解决方法主要是尽可能的把排风管道间的法兰用螺栓紧固好，并在法兰的连接处用胶带缠绕密封。但是密封效果并不满意。

因此，如何提供一种可以有效地防止有害的腐蚀性废气从排风管道的法兰连接处向外渗漏的排风管道防渗漏连接结构，以避免废气对环境的污染和减少维护成本，是本领域亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种排风管道防渗漏连接结构，通过在排风管道的接口处设置弹性接口内衬起到防止腐蚀性废气泄露的作用。

为了达到上述的目的，本发明采用如下技术方案：

一种排风管道防渗漏连接结构，包括两个对接在一起的第一排风管道和第二排风管道，在第一排风管道和第二排风管道对接处设有一防腐蚀的弹性接口内衬，所述弹性接口内衬的一端伸入所述第一排风管道的内部并与所述第一排风管道的内壁相匹配，所述弹性接口内衬的另一端伸入所述第二排风管道的内部并与第二排风管道的内壁向相匹配。

所述弹性接口内衬内设有与弹性接口内衬同轴且沿弹性接口内衬轴向布置的弹性膨胀圈。

所述弹性膨胀圈沿弹性接口内衬轴向均匀布置。

所述弹性接口内衬伸入第一排风管道的那一端的外周壁上设有与所述弹性接口内衬同轴的环形凹槽，所述弹性接口内衬伸入第二排风管道的那一端的外周壁上也设有与所述弹性接口内衬同轴的环形凹槽，所述环形凹槽内均设有密封剂。

所述弹性接口内衬的长度是弹性接口内衬的外径的1.2-1.5倍。

所述弹性接口内衬的壁厚为2-6mm。

所述弹性接口内衬采用耐腐蚀的弹性材料。

所述弹性接口内衬采用橡胶或三元乙丙橡胶。

第一排风管道和第二排风管道的对接端分别设有法兰，两个所述法兰固定连接在一起，两个所述法兰的接合面设有密封垫圈。

本发明的有益效果如下：