[发明专利]防潮的钢瓶磅秤无效

专利信息
申请号: 201010102406.2 申请日: 2010-01-28
公开(公告)号: CN102141193A 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 张榕 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: F17C13/02 分类号: F17C13/02;G01G17/04;G01G23/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 20120*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 防潮 钢瓶 磅秤
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种防潮的钢瓶磅秤。

背景技术

在半导体生产中需要大量使用氯气、氯化氢等十多种液化工艺气体钢瓶。目前,向生产部门供应特殊气体的方法是:将两个相同的液化气体钢瓶装在同一个气瓶柜内,其中一个钢瓶处于供气状态,另一个气体钢瓶处于备用状态。在两个钢瓶的底部都放有特制的电子磅秤来计量钢瓶内液化气体的重量,该磅秤1的结构如图1a、图1b和图1c,所述磅秤1由底板11和盖板12合围而成,所述盖板12的一个侧面设有供数据线穿过的通孔。当处于供气状态的钢瓶内液化气体使用到重量的自动切换值(即将用空)时,磅秤会通过重量传感器感知并发出钢瓶切换信号。此时用空的钢瓶会自动停止供气而另一侧处于备用状态的钢瓶会自动投入使用,从而实现了连续、平稳地为半导体生产设备供应气体的目的。

在供气过程中钢瓶内的液化气体需要由液态转变为气态,而这个物理状态变化过程是一个吸热过程。因此,钢瓶的温度在这个吸热的过程中会显著降低。在湿度比较大的季节,如夏季,钢瓶表面会因此产生大量的凝结水。磅秤内部也会凝结大量冷凝水,如长时间不能清除,这些冷凝水将会将磅秤内部的电路烧毁或腐蚀。如此,不仅会造成磅秤损坏的经济损失,还会因为磅秤失灵而引起钢瓶重量读值错误而导致供气中断甚至生产停顿。

由此可见,现有的液化气体钢瓶的电子磅秤没有防潮功能。如何提供一种可以防止磅秤内部潮湿的钢瓶磅秤是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防潮的钢瓶磅秤,通过向磅秤的内部吹氮气或压缩空气,防止磅秤内部聚集冷凝水而引生磅秤内部电路板烧毁事故。

为了达到上述的目的,本发明采用如下技术方案:

一种防潮的钢瓶磅秤,在磅秤内部设有吹气管道,所述吹气管道与磅秤外部的供气管道相连接,所述吹气管道上分布有若干用于向磅秤内部吹气的吹气孔。

所述供气管道设有控制器。

所述控制器为气动阀。

所述控制器包括单片机、电磁阀和气动阀,所述气动阀接在供气管道上,所述单片机与所述电磁阀电连接,所述电磁阀与所述气动阀电连接。

所述防潮的钢瓶磅秤还包括环境温度传感器和磅秤温度传感器,所述磅秤温度传感器设置于磅秤内,所述环境温度传感器设置于磅秤的周围空间内,所述环境温度传感器和磅秤温度传感器分别与所述单片机电连接。

当控制器接收到的来自环境温度传感器的温度高于来自磅秤温度传感器的温度一预先设定的温差值时,控制器通过电磁阀打开气动阀。

所述控制器设置于所述磅秤的上方,所述磅秤温度传感器设置于控制器的底部。

所述气动阀为针阀。

所述吹气管道设置在所述磅秤内顶部四周。

所述供气管道内是氮气或压缩空气。

本发明的有益效果如下:

本发明防潮的钢瓶磅秤,通过供气管道和吹气管道实现在磅秤内部进行氮气或干燥压缩空气吹扫,从而防止磅秤内部的凝结水产生,一方面,可以防止凝结水使得磅秤内部的电路烧毁或腐蚀,从而防止因磅秤失灵而引发钢瓶重量读值错误以致造成供气中断的严重后果;另一方面,可以使得磅秤的内部环境保持干燥,从而可以有效延长磅秤的寿命,减少了维护成本。

附图说明

本发明的防潮的钢瓶磅秤由以下的实施例及附图给出。

图1a是现有的用于放置钢瓶的磅秤的俯视图;

图1b是现有的用于放置钢瓶的磅秤的主视图;

图1c是现有的用于放置钢瓶的磅秤的侧视图;

图2是本发明防潮的钢瓶磅秤放置在气瓶柜内的结构示意图;

图3是本发明的磅秤的结构示意图(顶盖未示意);

图4是本发明的磅秤和控制器的连接示意图;

图5是本发明的控制器内部的结构示意图;

图6是本发明防潮的钢瓶磅秤的工艺和仪表流程图;

图中,1-磅秤、11-盖板、12-底板、2-重量传感器、21-重量数据线、3-吹气管道、31-吹气孔、4-供气管道、5-控制器、51-气动阀、52-电磁阀、53-单片机、54-电源开关、6-磅秤温度传感器、61-磅秤温度数据线、7-环境温度传感器、71-环境温度数据线、8-钢瓶、9-气瓶柜。

具体实施方式

以下将对本发明的防潮的钢瓶磅秤作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本发明进行更详细的描述,其中表示了本发明的优选实施例,应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此,下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道,而并不作为对本发明的限制。

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