[发明专利]用于金属有机物化学沉积设备的气路装置

权利要求书

1.一种用于金属有机物化学沉积设备的气路装置，包括：

气体入口；

从所述入口引出的并行布置的多组气路，每一组气路包括并行布置的 第一子气路和第二子气路，第一子气路和第二子气路中的每一个都能够选 择性地与生长室连通和与排空通道连通，

其特征在于：

气体通过一组气路时，气体选择性地流过该组气路中第一子气路和第 二子气路中的一个；且

第一子气路上设置有第一流量计，第二子气路上设置有第二流量计， 所述第一流量计的最大量程大于第二流量计的最大量程。

2.如权利要求1所述的气路装置，其特征在于：

第一流量计的最大量程是第二流量计的最大量程的10-100倍。

3.如权利要求1所述的气路装置，其特征在于：

第一流量计的最大量程为1-100升/分钟，第二流量计的最大量程为 0.01-1升/分钟。

4.如权利要求1所述的气路装置，其特征在于：

至少两组气路中的第一子气路上的第一流量计的最大量程彼此不同。

5.如权利要求1所述的气路装置，其特征在于：

至少两组气路中的第二子气路上的第二流量计的最大量程彼此不同。

6.如权利要求1-5中任一项所述的气路装置，其特征在于：

至少两组气路通过同一气体通道与生长室连通。

7.如权利要求1-5中任一项所述的气路装置，其特征在于：

第一子气路和第二子气路中的每一个均由各自的阀门实现开闭，且第 一子气路和第二子气路中的每一个均通过各自的另外的阀门选择性地与 生长室连通和与排空通道连通。

8.如权利要求7所述的气路装置，其特征在于：

每一个阀门为气动阀门，所述气动阀门为气动波纹管阀或气动隔膜 阀。

9.如权利要求7所述的气路装置，其特征在于：

所述多组气路中的一组气路被细分为三条支路，最终三支路气体交汇 于一点，再与生长室连通和与排空通道连通，且三条支路的第一流量计的 最大量程彼此均不同，三条支路的第二流量计的最大量程也彼此不同。

10.如权利要求6所述的气路装置，其特征在于：

第一子气路和第二子气路中的每一个均由各自的阀门实现开闭，且第 一子气路和第二子气路中的每一个均通过各自的另外的阀门选择性地与 生长室连通和与排空通道连通。

11.如权利要求10所述的气路装置，其特征在于：

每一个阀门为气动阀门，所述气动阀门为气动波纹管阀或气动隔膜 阀。

12.如权利要求1-5中任一项所述的气路装置，其特征在于：

第一子气路和第二子气路连接到第一切换阀，所述第一切换阀用于使 得气体选择通过第一子气路或第二子气路，且

所述气路装置还包括第二切换阀，第一子气路和第二子气路通过所述 第二切换阀选择性地与生长室连通和与排空通道连通。

13.如权利要求6所述的气路装置，其特征在于：

第一子气路和第二子气路连接到第一切换阀，所述第一切换阀用于使 得气体选择通过第一子气路或第二子气路，且

所述气路装置还包括第二切换阀，第一子气路和第二子气路通过所述 第二切换阀选择性地与生长室连通和与排空通道连通。