[发明专利]金属蒸镀复合坩埚

权利要求书

1.一种金属蒸镀复合坩埚，包括上端开口的坩埚容器，其特征在于：坩埚容器的开口边上设有一个环状水平平台；环状水平平台外固定连接保温套筒，坩埚容器与保温套筒之间形成一个封闭空间，封闭空间内沿坩埚容器壁盘绕有加热丝，保温套筒底部设有一对环状泄流槽。

2.根据权利要求1所述的金属蒸镀坩埚，其特征在于，套筒顶部与坩埚容器的水平平台的接触处，设有至少两个向内反扣的咬合件，保温套筒通过咬合件固定在坩埚容器外。

3.根据权利要求1所述的金属蒸镀复合坩埚，其特征在于，所述环状水平平台、半环状泄流槽、坩埚主体和保温套筒同心。

4.根据权利要求1所述的金属蒸镀复合坩埚，其特征在于，所述坩埚容器开口处的环状水平平台，其宽度为加热丝直径的两到三倍。

5.根据权利要求1所述的金属蒸镀复合坩埚，其特征在于，所述保温套筒的内径为坩埚主体加水平平台的直径，深度为坩埚容器高度与加热丝直径之和，保温套筒的壁厚与坩埚容器的壁厚相同。

6.根据权利要求1所述的金属蒸镀复合坩埚，其特征在于：所述保温套筒顶部的套筒壁上，垂直于咬合件的方向，开有两个对称的半圆形导引孔，导引孔的直径为加热丝直径与水平平台厚度之和的两倍。

7.根据权利要求1所述的金属蒸镀复合坩埚，其特征在于：所述泄流槽的宽度略小于加热丝的直径。

8.根据权利要求2所述的金属蒸镀复合坩埚埚，其特征在于：所述保温套筒上方内扣咬合件的厚度为坩埚壁厚的一到两倍。