[发明专利]感光性树脂组合物和图案形成方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，在含有碱可溶性酚 醛树脂、含醌二叠氮基的感光剂和溶剂的感光性树脂组合物中， 上述溶剂由丙二醇单甲醚乙酸酯(A)与沸点为145℃以下且乙酸正 丁酯蒸发速度为50以上的溶剂(B)的混合溶剂组成，其中所述溶 剂(B)为丙二醇单甲醚。

2.一种图案的形成方法，其特征在于，将含有碱可溶性酚醛 树脂、含醌二叠氮基的感光剂、以及丙二醇单甲醚乙酸酯(A)与沸 点为145℃以下且乙酸正丁酯蒸发速度为50以上的溶剂(B)的混合 溶剂的感光性树脂组合物通过狭缝涂敷法涂敷于基板上，不采用 减压干燥或真空干燥的方法而进行干燥，然后进行曝光、显影， 形成抗蚀图案，其中所述溶剂(B)为丙二醇单甲醚。

3.一种平板显示器用基板的制造方法，其特征在于包括通过 狭缝涂敷法将权利要求1所述的感光性树脂组合物涂敷于基板上 的工序。

4.由权利要求3所述的制造方法制造的平板显示器用基板。

5.一种平板显示器，其特征在于具有权利要求4所述的平板 显示器用基板。