[发明专利]低表面外形变形的光学元件

权利要求书

1.一种反射光学元件，包括：

主体，具有高精度几何形状的第一反射表面，用于在EUV光刻投射曝光系统中，反射波长范围小于50nm的光；其中所述主体包括：

第一非反射表面及一第二非反射表面；

单一连接区域，形成于所述第一非反射表面上，在所述连接区域内部具有至少一个固定表面，用于将所述整个光学元件直接或间接固定于一承载元件的至少一个承载表面；其中

所述第二非反射表面与在所述第一非反射表面上形成的所述单一连接区域不同，并且其中所述第二非反射表面至少部分地围绕所述单一连接区域；

至少一个应力释放特征，形成于所述主体中或所述主体上，其中所述应力释放特征使所述第一非反射表面与所述第二非反射表面至少部分地分离。

2.如权利要求1所述的反射光学元件，其中所述应力释放特征包括凹部或弯曲表面。

3.如权利要求1或2所述的反射光学元件，其中所述单一连接区域配置在所述主体的大致与所述第一反射表面相对的一侧上。

4.如权利要求1至3之任一项所述的反射光学元件，其中所述第二非反射表面围绕所述单一连接区域。

5.如权利要求1至4之任一项所述的反射光学元件，其中所述至少一个应力释放特征使所述单一连接区域与所述第二非反射表面分离。

6.如权利要求1至5之任一项所述的反射光学元件，其中所述反射光学元件在一预定空间位置处固定于所述承载元件，并且其中所述整个光学元件的作用在所述光学元件的重心上的重力的力线穿过所述单一连接区域。

7.如权利要求6所述的反射光学元件，其中所述单一连接区域为平面区域，并且其中所述平面区域配置成垂直于所述力线。

8.如权利要求6所述的反射光学元件，其中所述单一连接区域相对于所述力线对称配置。

9.如权利要求6至8之任一项所述的反射光学元件，其中所述光学元件刚性地固定于所述承载元件。

10.如权利要求9所述的反射光学元件，其中所述光学元件利用附着结合或金属连续性结合及/或形状适配结合，固定于所述承载元件。

11.如权利要求6至10之任一项所述的反射光学元件，其中所述至少一个固定表面及所述至少一个承载表面彼此至少部分地直接及/或间接接触，以藉由一合成的承载力将所述光学元件固定于所述预定空间位置处，所述合成的承载力相对于所述整个光学元件的重心不产生任何力矩。

12.如权利要求1至11之任一项所述的反射光学元件，其中所述承载元件包括至少一个个致动装置，用于以至少一个自由度致动所述承载元件及/或使所述承载元件变形。

13.如权利要求1至12之任一项所述的反射光学元件，其中所述连接区域座位第一连接元件一体成型于所述主体。

14.如权利要求1至13之任一项所述的反射光学元件，其中所述承载表面配置在一第二连接元件上，所述第二连接元件为所述承载元件的一部分。

15.如权利要求1至14之任一项所述的反射光学元件，其中所述光学元件固定于所述承载元件而作为一整体元件。

16.如权利要求1至15之任一项所述的反射光学元件，其中所述第一反射表面包括弯曲区域，该弯曲区域沿着至少一个方向弯曲。

17.如权利要求1至16之任一项所述的反射光学元件，其中所述主体或所述第一连接元件包括第二反射表面及/或光栅。

18.如权利要求14至17之一项所述的反射光学元件，其中所述承载元件或所述第二连接元件包括第三反射表面及/或光栅。