[发明专利]具有静电放电能力的测试装置

权利要求书

1.一种用于在测试模块(10)时消除静电放电(微火花)损害的测试装置，其特征在于，所述测试装置包括：

相对于所述模块(10)定位在将要测试的所述模块(10)的测试点(导体)的插口夹持器(12)；

至少一个部分定位于所述插口夹持器(12)内用于在所述测试点与其汇聚时与所述测试点(11)导电接合的测试件(14)，所述测试件(14)包括与中空圆筒测试引脚(16)滑动接合的静电耗散杆(15)和用于偏置所述静电耗散杆(15)从所述中空圆筒测试引脚(16)顶部显著突出的偏置装置(17)。

2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试点(11)为焊球。

3.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述模块(10)为集成电路芯片。

4.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述模块(10)为印刷电路板。

5.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述模块(10)为晶圆裸片。

6.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述静电耗散杆(15)由浸渍抗静电添加剂或导电添加剂的静电耗散材料制成。

7.如权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述静电耗散杆(15)的直径小于所述中空圆筒测试引脚(16)的内径。

8.如权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述静电耗散杆(15)的所述静电耗散材料具有10⁴-10¹¹欧的测量体积电阻。

9.一种用于在测试模块(10)时消除静电放电损害的测试装置，其特征在于，所述测试装置包括：

相对于所述模块(10)定位在将要测试的所述模块(10)的测试点(导体)的插口夹持器(12)；

至少一个部分位于所述插口夹持器(12)内用于在所述测试点与其汇聚时与所述测试点(11)导电接合的测试件(14)，所述测试件(14)包括与中空静电耗散圆筒(15)滑动接合的测试引脚(16)和用于偏置所述中空静电耗散圆筒(15)从所述测试引脚(16)向上滑动的偏置装置(17)。

10.如权利要求9所述的测试装置，其特征在于，所述中空静电耗散圆筒(15)的外径略小于所述插口夹持器(12)的插口直径，所述中空静电耗散圆筒(15)的内径略小于所述测试点(11)的直径。

11.如权利要求10所述的测试装置，其特征在于，所述测试点(11)为焊球。

12.如权利要求9所述的测试装置，其特征在于，所述测试引脚(16)具有略小于所述中空静电耗散圆筒(15)内径的直径。

13.一种用于在测试模块(10)前消除静电放电(微火花)损害的静电放电装置，其特征在于，所述静电放电装置包括：

导电夹持器(19)，导电夹持器(19)具有大量的、从其水平伸出的静电耗散刷毛(18)；

与所述导电夹持器(19)相邻定位的测试装置；

旋转臂(20)，包括至少一个具有用于拾取将要测试的所述模块(10)的真空吸垫(21)的臂件，所述旋转臂(20)旋转所述模块(10)至与所述静电耗散刷毛(18)相对以刷洗消除所述模块(10)的残留电荷。

14.如权利要求13所述的静电放电装置，其特征在于，所述导电夹持器(19)接地。