[发明专利]无源对准方法及其在微投影装置中的应用

权利要求书

1.一种光学微投影系统，包括如下组件：

至少一个光源(401)

至少一个基于MEMS技术的反射镜(202)，用于偏移来自所述光源的光；

至少一个分光镜(403)；

至少一个波片(400)，用于改变激光光束的偏振；

其中，至少两个所述组件的相互对准是所述组件的接触面(500)之间的相互直接接触提供的。

2.如权利要求1所述的光学微投影系统，其中所述组件设置在相互对准的组件的堆中，每个组件与堆中的至少一个其它组件直接接触。

3.如权利要求2所述的光学微投影系统，包括用于固定所述组件的框架，至少一些组件包括用于对准所述框架的参考侧面。

4.如在前任一权利要求所述的光学微投影系统，其中所述MEMS组件为放置在提供接触面(500)的顶部窗口(204)后的全封装扫描微反射镜(200)。

5.如在前任一权利要求所述的光学微投影系统，其中至少一个模块为集成到平行六面体形的组件中的梯度折射率介质制造的透镜，所述平行六面体形的组件具有由所述梯度折射率介质提供的至少一个接触面(500)。

6.如在前任一权利要求所述的光学微投影系统，其中相邻微光组件具有相同的折射系数。

7.如在前任一权利要求所述的光学微投影系统，其中相邻微光组件由相同光学材料制造。

8.如在前任一权利要求所述的光学微投影系统，其中微光组件使用与要组装的组件具有相似折射率的组装材料或胶水连接在一起。

9.如权利要求1-8中任一个所述的光学微投影系统，包括彼此平行放置的至少两个光源(401)，并且其中在运行时光束被反射到分光镜(403)。

10.如权利要求1-8中任一个所述的光学微投影系统，包括彼此垂直放置的至少两个光源(401，805)，并且其中在运行时光束组合器(800)以与输出光源相同的方向传输组合光。

11.如权利要求1-8中任一个所述的光学微投影系统，包括具有中央光束组合器(800)的彼此垂直放置的至少三个光源(401，805)。

12.如权利要求1-8中任一个所述的光学微投影系统，进一步包括光束组合器(800)。

13.如在前任一权利要求所述的光学微投影系统，其中在用于支持所述光源并提供至少一个接触面(500)的激光固定器(402)中提供所述光源(401，805)。

14.如在前任一权利要求所述的光学微投影系统，其中光源(401，805)从包括激光二极管、垂直腔面发射二极管(VCSEL)，准直发光二极管(LED)，超辐射发光二极管(SLED)的列表中选取。

15.一种组装如在前任一权利要求所述光学微投影系统的方法，包括如下步骤：

提供至少两个基本垂直的参考平面(304，305)；

放置要组装的光系统模块在预组装位置，所述模块具有至少一个接触面(500)，所述接触面彼此相对；

调整所述模块紧密配合参考平面(304，305)以使得所述模块对准从而使得所述光系统正常运行；

放置所述模块使得接触面(500)彼此接触；

使用组装工具连接所述模块以提供所述光系统。