[发明专利]金属氧化膜的成膜方法、金属氧化膜及金属氧化膜的成膜装置

权利要求书

1.一种金属氧化膜的成膜方法，其特征在于，包括：

(A)使含金属元素和氨(4a)的溶液(4)雾化的工序；

(B)加热基板(2)的工序；和

(C)向所述工序(B)中的所述基板的第一主面上供给所述工序(A)中经雾化的所述溶液的工序。

2.如权利要求1所述的金属氧化膜的成膜方法，其特征在于，还包括：

(D)在所述工序(A)之前，预先准备表示所述氨在所述溶液中的含量、成膜的所述金属氧化膜的载流子浓度和成膜的所述金属氧化膜的迁移率之间的关系的数据的工序；和

(E)使用所述工序(D)中的所述数据，确定所述溶液中所述氨的含量，并制作含有该确定的含量的所述氨的所述溶液的工序。

3.如权利要求2所述的金属氧化膜的成膜方法，其特征在于，所述金属元素为锌；所述工序(E)为制作所述氨的摩尔数相对于所述锌的摩尔数的比值大于7.34的所述溶液的工序。

4.如权利要求2所述的金属氧化膜的成膜方法，其特征在于，所述金属元素为锌；所述工序(E)为制作每1升所述溶液中的所述氨的摩尔数大于0.15mol/L的所述溶液的工序。

5.如权利要求1或2所述的金属氧化膜的成膜方法，其特征在于，所述金属元素为钛、锌、铟和锡中的至少任一种。

6.如权利要求1或2所述的金属氧化膜的成膜方法，其特征在于，所述工序(C)为向所述工序(B)中的所述基板的第一主面上供给所述工序(A)中经雾化的所述溶液和臭氧的工序。

7.一种金属氧化膜，其特征在于，其通过权利要求1～6中任一项所述的金属氧化膜的成膜方法制作。

8.一种金属氧化膜的成膜装置，其特征在于，能够实施权利要求1～6中任一项所述的金属氧化膜的成膜方法。