[发明专利]油墨干燥装置无效
申请号: | 200980156136.9 | 申请日: | 2009-12-08 |
公开(公告)号: | CN102308172A | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
发明(设计)人: | 宫浦博彰;盐崎唯史;天本圭悟;山口臣治 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社;株式会社幸和 |
主分类号: | F26B5/00 | 分类号: | F26B5/00;B05C9/14;F26B9/06;F26B21/00;H01L21/027 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 油墨 干燥 装置 | ||
1.一种油墨干燥装置,具备:
干燥炉(12),其中设置涂敷有油墨的基板;
送风机(41),其与基板相对配置,向上述干燥炉(12)内输送空气;以及
冲孔板(51),其设置于上述干燥炉(12)内,配置于基板和上述送风机(41)之间,形成有空气可流通的多个孔(52)。
2.根据权利要求1所述的油墨干燥装置,
上述送风机(41)具有通过旋转而压送空气的风扇(43),
在将成为上述风扇(43)的旋转中心的轴(101)向上述冲孔板(51)延长的情况下,上述多个孔(52)以如下方式形成:其开口率在相对远离与上述轴(101)交叉的位置的上述冲孔板(51)上的区域比在相对接近与上述轴(101)交叉的位置的上述冲孔板(51)上的区域大。
3.根据权利要求2所述的油墨干燥装置,
多个上述送风机41彼此隔开间隔设置,
上述多个孔(52)以其开口率对应多个上述送风机(41)各自而变化的方式形成。
4.根据权利要求1所述的油墨干燥装置,
上述冲孔板(51)以划分从上述送风机(41)输送的空气流入的空间(14m)和设置基板的空间(14n)的方式设置。
5.根据权利要求1所述的油墨干燥装置,
上述冲孔板(51)与设置于上述干燥炉(12)中的基板平行地延伸。
6.根据权利要求1所述的油墨干燥装置,
上述冲孔板(51)配置于上述送风机(41)和上述冲孔板(51)之间的距离比上述冲孔板(51)和设置于上述干燥炉(12)中的基板之间的距离小的位置。
7.根据权利要求1所述的油墨干燥装置,
在上述干燥炉(12)内形成有第1空间(14)和第2空间(15),上述第1空间(14)设置有基板,上述第2空间(15)设置有用于使基板上下移动的驱动部(32),空气可从上述第1空间(14)流入上述第2空间(15),
上述油墨干燥装置还具备与上述干燥炉(12)连接且从上述第1空间(14)及上述第2空间(15)分别排出空气的排气部(36、38),
上述第1空间(14)及上述第2空间(15)的压力设定成:上述第1空间(14)的压力比上述第2空间(15)的压力大,上述第2空间(15)的压力比上述干燥炉(12)的外部的压力大。
8.根据权利要求1所述的油墨干燥装置,
还具备与上述干燥炉(12)连接且从上述干燥炉(12)内排出空气的排气部(36),
上述排气部(36)具有向上述干燥炉(12)内开口且空气流通的排气口(37),
上述排气口(37)设置在相对于上述送风机(41)比设置于上述干燥炉(12)中的基板远的位置。
9.根据权利要求1所述的油墨干燥装置,
还具备与上述干燥炉(12)连接且从上述干燥炉(12)内排出空气的排气部(36),
上述排气部(36)具有向上述干燥炉(12)内开口且空气流通的排气口(37、64、65),
在上述排气口(37、64、65)设有使空气的流通面积可变的机构。
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