[发明专利]声压换能器

权利要求书

1.一种设备，包括：

限定板以及第一铰链部分和第二铰链部分的挠性层，所述挠性层还限定柔性部分，所述柔性部分远离所述板地延伸并且被配置为呈现响应于声压而变化的电气特性。

2.根据权利要求1的设备，所述板具有正方形或者矩形或者梯形形状。

3.根据权利要求1的设备，所述第一铰链部分和所述第二铰链部分远离所述板的相应相对侧地延伸。

4.根据权利要求1的设备，所述第一铰链部分和所述第二铰链部分分别被配置为将所述板以扭转方式耦合到支撑结构，所述柔性部分被配置为将所述板以柔性方式耦合到所述支撑结构。

5.根据权利要求4的设备，所述第一铰链部分和所述第二铰链部分至少部分地由相应的曲线部分限定。

6.根据权利要求4的设备，所述支撑结构以及包括所述板和所述第一铰链部分和所述第二铰链部分以及所述柔性部分的所述挠性层是由单片半导体层形成的。

7.根据权利要求1的设备，进一步包括：

被结合到所述柔性层的脊层；和

被结合到所述脊层的膜层。

8.根据权利要求7的设备，所述脊层覆盖所述挠性层的、既不包括所述第一铰链部分也不包括所述第二铰链部分也不包括所述柔性部分的那部分。

9.根据权利要求8的设备，所述脊层由第一区域限定，所述膜层由大于所述第一区域的第二区域限定。

10.根据权利要求1的设备，所述柔性部分包括至少一个压阻传感器或者压电传感器。

11.一种换能器，包括：

由单片材料制成的挠性层，所述挠性层限定板，所述挠性层还限定远离所述板的相对侧地延伸的第一扭转铰链部分和第二扭转铰链部分，所述挠性层还限定柔性延伸部分；

覆盖所述挠性层的所述板的脊层；和

覆盖所述脊层的膜层，所述柔性延伸部分被配置为呈现根据入射到所述膜层的声压而变化的电气特性。

12.根据权利要求11的换能器，所述第一扭转铰链部分和所述第二扭转铰链部分和所述柔性延伸部分分别被配置为将所述挠性层的所述板以机械方式耦合到支撑结构。

13.根据权利要求11的换能器，所述柔性延伸部分被配置成使得所述电气特性是根据入射到所述膜层的声压而变化的电阻或者电压。

14.根据权利要求11的换能器，所述第一扭转铰链部分和所述第二扭转铰链部分至少部分地由相应的曲线部分限定。

15.根据权利要求11的换能器，进一步包括被配置为限定声学空腔的一种或者多种材料，通过所述第一和第二扭转铰链部分和所述柔性延伸部分，所述板被支撑在所述声学空腔内，所述膜层限定一个或者多个通风孔，所述通风孔将所述声学空腔流动地耦合到所述麦克风周围的周边环境。

16.一种方法，包括：

利用声压的影响移位换能器的挠性层，所述移位包括一对铰链的扭转应变和柔性延伸部的拉伸应变；

根据所述拉伸应变改变所述柔性延伸部的电气特性；和

使用所述变化的电气特性导出对应于所述声压的电信号。