[发明专利]太赫兹检查装置

权利要求书

1.一种用于检查被检体的装置，该装置包含：

照射部分，用于用放射线照射被检体；

检测部分，用于检测来自被照射的被检体的放射线；

获取部分，用于获取与由检测部分检测的放射线的检测时间相关联的来自照射部分的放射线的传送时间以及由检测部分检测的放射线的振幅；

存储部分，用于事先存储传送时间和振幅与被检体的特性的代表性值之间的关系数据；和

计算部分，用于基于所述传送时间、所述振幅和存储于存储部分中的关系数据，获得被检体的厚度和特性的值。

2.根据权利要求1的检查装置，其中，所述放射线包含30GHz和30THz之间的频率范围中的频率成分。

3.根据权利要求2的检查装置，其中，所述放射线是脉冲，所述获取部分通过时域谱分析来获取传送时间和振幅，并且，所述计算部分将所述传送时间和振幅与关系数据进行比较。

4.根据权利要求1的检查装置，其中，由所述计算部分获得的被检体的特性是电导率或电阻率。

5.根据权利要求3的检查装置，其中，在随着被检体相对于脉冲的相对位置被移动而存储与脉冲的传送时间对应的峰值时间位置的改变量和与脉冲的振幅对应的峰值振幅的改变量的同时，通过计算部分获得各相对位置处的被检体的厚度和特性的值，并且，执行被检体的厚度和特性的分布的成像。

6.根据权利要求5的检查装置，其中，在执行成像之后，通过使用空间滤波器来分离被检体的厚度和特性的分布。

7.根据权利要求1的检查装置，其中，被检体具有特定频率处的吸收，所述存储部分事先存储所述特定频率处的振幅作为放射线的振幅，并且，所述计算部分基于所述特定频率处的振幅和所述关系数据来获得被检体的厚度和特性的值。

8.一种用于驱动根据权利要求5的检查装置的方法，该方法包含：

移动被检体相对于脉冲的相对位置的步骤；

对在时域谱分析中使用的延迟部分的延迟位置进行反馈控制以使得在移动的步骤中总是保持获取脉冲的峰值时间位置的步骤；和

存储在控制的步骤中被反馈控制的延迟位置的步骤。

9.一种检查被检体的检查方法，该方法包含：

检测步骤，检测来自用放射线照射的被检体的放射线；

获取步骤，获取与在检测步骤中检测的放射线的检测时间相关联的传送时间以及在检测步骤中检测的放射线的振幅；

存储步骤，事先存储传送时间和振幅与被检体的特性的代表性值之间的关系数据；和

计算步骤，基于在获取步骤中获取的传送时间和振幅以及在存储步骤中存储的关系数据，获得被检体的厚度和特性的值。