[发明专利]平版印刷系统中对射束的同步测量

权利要求书

1.一种多射束平版印刷系统，包括：

射束源，用于提供多个射束；

消隐器阵列，包括分别用于所述多个射束中的每个射束的消隐器，所述消隐器阵列适于基本上允许多个射束通过；

控制设备，用于向消隐器阵列提供暂时消隐图案，所述暂时消隐图案指示每个射束何时应该被消隐而何时不该被消隐，由此每个射束使用唯一的暂时消隐图案来调制；以及

测量设备，布置在所述消隐器阵列的下游，包括传感器，所述传感器具有用于直接并同时地感测多个单独调制的射束的传感器区域，以提供多个射束的聚合信号。

2.根据权利要求1所述的多射束平版印刷系统，进一步包括：解调器，适于将所述聚合信号解调为针对每个单独射束的强度值。

3.根据权利要求2所述的多射束平版印刷系统，其中，所述解调器包括电子数据处理器，所述电子数据处理器适于向控制设备提供所述暂时消隐图案，并且用于基于它们对应的暂时消隐图案和根据时间的所述多个射束的所述聚合信号来计算各个射束的强度的测量值。

4.根据前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述传感器区域被安置为同时感测所述系统的多个射束中的所有射束。

5.根据前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述传感器区域是连续区域。

6.根据前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述多个射束包括多个带电粒子射束，并且所述测量设备包括电流测量传感器，所述电流测量传感器被布置为测量由所述多个射束产生的聚合电流。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述电流测量传感器包括一个或多个法拉第杯、电流钳和/或闪烁材料和光子计数器。

8.根据前述权利要求中任一项所述的系统，进一步包括：目标定位系统，所述目标定位系统包括用于承载和移动将要被曝光于所述射束的目标的工件台，其中，所述测量设备安装在所述工件台上。

9.根据前述权利要求中任一项所述的系统，进一步包括：会聚元件，该会聚元件用于将所述多个射束引导到所述传感器区域上。

10.根据前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述测量设备进一步包括放置在所述传感器区域前方的刀口或刀口阵列。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述刀口或刀口阵列基本上被置于所述系统的像平面中。

12.一种用于在根据前述权利要求中任一项所述的系统中同时测量多个射束的方法，所述方法包括如下步骤：

i)提供多个暂时消隐图案，该多个暂时消隐图案包括用于每个消隐器的暂时消隐图案，每个暂时消隐图案表示在一定时间间隔内的相关联的射束的调制，

ii)通过向与射束相关联的每个消隐器流入相关联的暂时消隐图案，来在所述时间间隔期间对所述多个射束进行调制，感测所有未消隐射束的聚合射束强度信号，并且在流入所述暂时图案期间测量根据时间的所述信号，

iii)基于各个射束的相关联的暂时消隐图案和根据时间的信号来计算各个射束的强度的测量值。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述步骤iii)包括：通过基于各个射束的相关联的暂时消隐图案和根据时间的信号计算各个射束的强度的测量值，来对所述信号进行解调。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其中，所述多个射束的暂时消隐图案基本上彼此是正交的。

15.根据权利要求12-14中任一项所述的方法，其中，在步骤i)和ii)期间，基本上只有所述多个射束中的一半是被打开的。

16.根据权利要求12-15中任一项所述的方法，其中，使用伪随机数产生多个暂时消隐图案。

17.根据权利要求12-16中任一项所述的方法，其中，对所述暂时消隐图案进行选择，使得每个暂时消隐图案包含大量的开关转换。

18.根据权利要求12-17中任一项所述的方法，其中，对所述暂时消隐图案进行安排，使得在基本上任何时间，未消隐射束的总数量基本上是常数。