[发明专利]定位系统和方法

权利要求书

1.一种用于定位对象的系统，包括：

固定基座；

所述对象的支撑物；

致动器，其用于应用力以相对于所述固定基座移动所述支撑物；

传感器，其用于测量所述支撑物上的负载力；以及

控制器，其用于处理所测量的负载力，以控制所述支撑物的位置和/或抑制所述系统的至少一个谐振频率。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器在反馈回路中处理所测量的负载力。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其中，所述控制器响应所测量的负载力以调节所述支撑物的位置。

4.根据前述权利要求中的任意一项所述的系统，其中，所述控制器控制所述致动器以调节所述支撑物的位置。

5.根据前述权利要求中的任意一项所述的系统，其中，所述控制器根据所测量的负载力来计算所述支撑物的位移。

6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述支撑物的位移是通过以下关系式来计算的：

dF=1MPs2+cfs+kf]]>

其中，d是所述支撑物的位移；

F是所测量的负载力；

M_p是所述支撑物的质量；

s是拉普拉斯变换参数；

c_f是挠曲阻尼比率；以及

k_f是挠曲硬度。

7.根据权利要求1至4中的任意一项所述的系统，其中，所述力传感器产生与所测量的负载力对应的输出电压，并且所述支撑物的位移被按所述输出电压的一个比例来计算。

8.根据权利要求7所述的系统，其中，所述支撑物的位移是通过以下关系式来计算的：

dVs=dgsF=1/gsMPs2+cfs+kf]]>

其中，d是所述支撑物的位移；

V_s是所测量的负载力的输出电压；

F是所测量的负载力；

g_s是所述力传感器的增益；

M_p是所述支撑物的质量；

s是拉普拉斯变换参数；

c_f是挠曲阻尼比率；以及

k_f是挠曲硬度。

9.根据前述权利要求中的任意一项所述的系统，其中，所述力传感器使用所述力传感器的电荷和/或电压来校准。

10.根据权利要求2至9中的任意一项所述的系统，其中，所述控制器在大于预定的穿越频率ω_c的频率处在所述反馈回路中处理所测量的负载力。