[发明专利]有机电致发光显示装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机电致发光显示装置及其制造方法。更详细而言，涉及构成为将具有发光层等的基板与具有薄膜晶体管(TFT)元件等的基板贴合的有机电致发光显示装置及其制造方法。

背景技术

有机电致发光(以下也称为“EL”)显示装置，作为承担下一代的有希望的显示装置，正在积极地进行开发，逐渐扩展实用的范围。根据光的取出方向，有机EL显示装置能够大致分为顶部发光型和底部发光型。顶部发光型的有机EL显示装置，在玻璃基板等基板上具有将金属电极、发光层、透明电极依次成膜的膜结构。底部发光型的有机EL显示装置，同样在玻璃基板等基板上具有将透明电极、发光层、金属电极依次成膜的膜结构。由于该膜结构的不同，顶部发光型的有机EL显示装置，以发光层为基准向与元件基板相反的方向发光，与此相对，底部发光型的有机EL显示装置，以发光层为基准向元件基板的方向发光。这样，在顶部发光型的有机EL显示装置和底部发光型的有机EL显示装置中，来自发光层的光的取出方向不同。

有机EL显示装置，在顶部发光型和底部发光型中的任一种中，来自发光层的发光通过全反射产生导光成分。因此，将来自发光层的发光向元件外部取出的外部取出效率，保持在20～25％左右，正在谋求提高外部取出效率。为了提高外部取出效率，需要使来自发光层的发光在相同的像素内取出，因此，需要使来自发光层的发光散射，进而将散射的光导向元件外部。作为使来自发光层的发光散射的散射方法，提案有设置具有反射功能的光学部件，作为散射效果高的光学部件，已知有立体角反射器阵列(corner cube array)(例如，参照专利文献1)。

将散射的光导向元件外部的导光单元，需要设置在光的出射侧，优选尽可能低的折射率，且厚度薄。于是，提案有在发光层的附近设置金属薄膜等低折射率层作为导光单元的方法(例如，参照专利文献2)等。当考虑光的透过率时，低折射率层优选为透明。作为低折射率且厚度薄的透明的低折射率层，可以考虑由空气等气体构成的气体层。作为低折射率层，通过将气体层设置在光的出射侧，能够在气体层与折射率比该气体层的折射率高的层之间的界面发生全反射，将来自发光层的散射光高效地向外部出射。如果是顶部发光结构的有机EL显示装置，则低折射率层在元件配置基板的主面上形成了EL元件后形成即可，因此适用容易。

然而，底部发光型的有机EL显示装置中，必须在元件配置基板与EL元件之间形成低折射率层，因此在哪个工序中形成低折射率层成为问题。例如，构成有机EL元件的发光层，一般情况下通过真空成膜而形成，因此难以在发光层成膜之前形成作为低折射率层的气体层。此外，如上述的立体角反射器阵列那样设置散射效应高的光学部件的情况下，由于与立体角反射器阵列的形成方法的关系，气体层的形成困难。即，立体角反射器阵列通过Photo-Polymer(光聚合物)转印法(以下，称为2P转印法)形成，在2P转印法中，将液体状的紫外线(UV)固化树脂涂敷在支承基板上，一边用模具加压一边照射UV光而形成，因此固化前的UV固化树脂为液体状，难以保持气体层。这样，底部发光型的有机EL显示装置中，在有机EL元件的形成前的初始工序中，难以形成气体层。

然而，一直以来，提案有以实现显示装置的薄型化、轻量化等为目的，在支承基板上形成薄膜晶体管(TFT)等功能性元件，并将形成的功能性元件从支承基板剥离而粘贴于其他基板的方法。根据该方法，在形成功能性元件时，能够使用玻璃基板等耐热性等优异的基板作为支承基板，剥离后的功能性元件能够粘贴于薄且轻量的树脂膜等其他基板，因此能够实现显示装置的薄型化、轻量化等。

作为将功能性元件从支承基板剥离的方法，已知有：通过蚀刻或研磨将支承基板除去的方法(例如，参照专利文献3)；在支承基板上设置与金属层或氮化物层接触的由氧化物层构成的剥离层，并从该剥离层将功能性元件机械分离的方法(例如，参照专利文献4)；向由无定形硅(a-Si)构成的剥离膜注入氢离子后，进行加热而从剥离膜分离基板的方法(例如，参照专利文献5)；和在支承基板上形成分离层，通过对该分离层照射激光使紧贴性发生变化，从而使基板脱离的方法(例如，参照专利文献6)等。