[发明专利]无尘室中逆转溅镀涂覆系统进料的方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及逆转溅镀涂覆系统进料的装置以及方法。

背景技术

我们的每天必需品所附属的大量科技装置在生产期间需要溅镀涂覆，我们可以在计算机硬盘、CD储存媒体以及LCD平面屏幕、溅镀轴承、现代热保护玻璃、镜子、卤素发射器、或汽车头灯中发现这些层，所有这些有用的事情皆无法在没有利用溅镀的涂覆的情形下实现。

英文用辞溅镀(“to sputter”，“sputtering”)表示阴极溅镀程序，在此情形下，氩离子撞击阴极(所谓的标靶)，在此，会出现500伏特的典型电压。当离子撞击时，原子自该阴极中释出，并聚集在周围，此则可导致层的成长，溅镀涂覆的重要构件是所谓的磁电管(与磁力系统整合在一起的阴极)以及真空腔室(接收器腔室)。

在许多情况下，要进行涂覆的材料是大玻璃片。

当生产具有相对而言较大设计的平面屏幕时以及在量大时，也需要生产及进一步处理如此大型的、对冲击敏感的片状物。

现在平面屏幕逐渐地取代老式的映像管屏幕，并且，也变得越来越便宜。

它们所根据的是TFT/LCD技术，在此背景中，LCD(液晶显示器)表示在屏幕的个别像素中使用液晶，以及TFT代表薄膜晶体管。TFTs是非常小的晶体管组件，其控制液晶的方位，以及因此，液晶的光运输。

平面屏幕显示器是由众多的像素所构成，每一个像素依序由对应于颜色红、绿、以及蓝的3个LCD细胞(子像素)所构成，一个(以对角线测量的)15寸的屏幕包含大约800000个像素、或大约2.4百万个LCD细胞。

然而，光伏组件的生产也需要溅镀系统。现代的玻璃正面毫无争议地是现代建筑的象征，然而，在许多情形中，它们并不仅是结构的功能组件而已，而是在事实上也渐增地作为产生太阳能之用。定做的太阳能模块使其能够与建筑物框格以及外型精准地整合。除了半透明太阳能电池以外，具有透明区域的不透光太阳能电池也能让光伏镶嵌玻璃充满光线。在此，太阳能电池通常具有抵抗太阳以及强光的所需保护效果。

如此的光伏系统的生产需要的操作条件正如主要在生产半导体以及积体电子电路时为习知的那些。然而，在生产光伏系统时，这些所谓的无尘室条件却额外地使得掌控具有大表面积的冲击敏感玻璃片变得必须。

光伏组件以及TFT屏幕两者的生产需要所谓的无尘室。

无尘室、或超净室(ultraclean room)，是落尘粒子的浓度受到控制的房间，其所建构以及使用的方式是，导入房间的粒子数量、或是在房间中所产生以及沉淀的粒子数量尽可能的小，并且，例如，温度、湿度、或空气压力等其它的参数，亦根据要求进行控制。

然而，即使在超净室中，大屏幕的生产亦需要特殊的机器来掌控于此情形中所需要的大表面薄玻璃片。

为了这个目的，其主要有可能地是使用多轴工业机器手臂，在生产各种产品的技术中，多轴工业机械手臂技术的各种实施例的使用可由习知技术中收集得到。

此型态的工业机械手臂大部分是用于大型大楼中运输庞大且笨重的负载，但亦可以具优势地用在生产较小的机器部件。在所有的情形中，重要地是，各自抓取操作、运输移动、以及安置操作等动作顺序的可再现精准度。

在此，发生这些动作顺序的环境在许多情形下是不重要的，举例而言，最无关紧要地是，如此的一动作顺序造成的噪音发射、或是如此的一操作是否关连于灰尘的移动、或润滑剂的较多或较少泄漏，造成摩擦力的移动机器部件时无可避免的耗损亦对绝大多数的情形而言是不重要的。

相较之下，当于具污染风险的环境中运作时，举例而言，在食品加工工业中、在制药工业中、或是甚至在于无尘室里进行的半导体生产中，就必须要考虑此种型态的自然后果。

因此，EP 1 541 296 A1揭示一种使用于具污染风险环境中的操作器，例如，工业机械手臂，其在该操作器的驱动单元区域中具有一些可充以清除介质的清除室。如此之装置的例子中，其欲解决问题是，如何更进一步地发展该装置，以使得该操作器可以结构上简单的方式，以及因此，特别地是，以低成本的方式，而在一具污染风险的环境中安全地使用。此问题是透过关连于多个驱动单元群组中每一个的专属清除室而获得解决(权利要求1)。

虽然如此的工业机械手臂所欲使用的环境，对于污染更为敏感，以及因此，相较于正常环境，亦对设计架构有更高的需求，但此型态的特殊需求却无法与无尘室中所规定的条件相比较。

DE 10 2007 009 924 A1更进一步揭示一连续涂覆系统，一种产生结晶薄膜以及太阳能电池的方法，以及一种太阳能电池。