[发明专利]加速度传感器无效
| 申请号： | 200980145175.9 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN102216789A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 绀野伸显 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;H01L29/84 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
1.一种加速度传感器，具备：
基板(1)；以及
多个加速度检测部(10)，被所述基板(1)支承，
所述多个加速度检测部(10)分别具有：
扭转梁(11、12)，被所述基板(1)支承，并且以扭转轴线(T1、T2)为中心而扭转；
检测框(21、22)，以能够以所述扭转轴线(T1、T2)为中心进行旋转的方式被所述扭转梁(11、12)支承；
检测电极(40)，以与所述检测框(21、22)相向的方式形成在所述基板(1)上；
链接梁(31、32)，当俯视时在从所述扭转轴线(T1、T2)偏离了的轴线上的位置处被所述检测框(21、22)支承；以及
惯性质量体(2)，以能够在所述基板(1)的厚度方向上移位的方式被所述链接梁(31、32)支承，
所述多个加速度检测部(10)包括第一和第二加速度检测部(10)，
所述第一和第二加速度检测部(10)沿着所述第一加速度检测部(10)的所述扭转轴线(T1)方向排列配置。
2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，
当俯视时所述第一加速度检测部(10)的所述链接梁(31)相对于所述第一加速度检测部(10)的所述扭转轴线(T1)配置在一侧，当俯视时所述第二加速度检测部(10)的所述链接梁(32)相对于所述第一加速度检测部(10)的所述扭转轴线(T1)配置在另一侧。
3.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，
所述多个加速度检测部(10)各自的所述扭转梁(11、12)与所述链接梁(31、32)之间的偏移量的大小相互相等。
4.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，
所述多个加速度检测部(10)各自的所述扭转轴线(T1、T2)相互平行。
5.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，
所述多个加速度检测部(10)还包括第三和第四加速度检测部(10)，
所述第一至第四加速度检测部(10)沿着所述第一加速度检测部(10)的所述扭转轴线(T1)方向排列配置。
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