[发明专利]金属氧化物微粒分散浆料

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过改善金属氧化物微粒的分散性而实现了优异的网板印刷性的金属氧化物微粒分散浆料。进而，本发明涉及一种含有该金属氧化物微粒分散浆料的金属氧化物微粒分散糊剂、使用了该金属氧化物微粒分散浆料或者该金属氧化物微粒分散糊剂的金属氧化物薄膜的制造方法及由该金属氧化物薄膜的制造方法得到的金属氧化物薄膜。

背景技术

近年来，随着金属氧化物的微细化技术的进步，可制造许多金属氧化物，并被用于透明电极、防静电剂等各种用途。例如，在氧化锡中掺杂铟的ITO作为用于制造等离子显示器面板、液晶显示器面板等的透明电极材料而受到关注。另外，氧化镁因其耐冲击性或电子发射特性而被广泛用作等离子显示器用前面板的电介质保护层。

一直以来，作为使用这些金属氧化物形成金属氧化物薄膜的方法，可使用例如真空蒸镀法。更具体而言，可使用如下方法，例如，在形成透明电极时，利用真空蒸镀使金属氧化物附着在基材表面，使用光反应性材料进行显影，或实施掩蔽，由此形成电极图案。但是，对于真空蒸镀等物理方法而言，真空化需要花费时间，另外，需要严格地控制设备，因此，希望能有一种批量生产性优异的生产效率好的替代方法。

因此，作为批量生产性优异的替代方法，例如，专利文献1中公开的方法是，将含有乙酰丙酮铟、乙酰丙酮锡等的糊剂涂布在基板上并进行干燥后，在烧成时通过溶胶凝胶反应来制造ITO透明导电膜。

该方法可以以低成本容易地制造ITO透明导电膜，但是通过溶胶凝胶反应形成的ITO透明导电膜非常不稳定，难以稳定地得到具有所希望的性能的ITO透明导电膜，另外，将沸点低的乙酰丙酮作为溶剂使用还存在溶剂易挥发、操作性差的问题。

因此，作为批量生产性优异的其他替代方法，可使用通过网板印刷涂布含有金属氧化物微粒的分散糊剂的方法。在使用有网板印刷的方法中，例如，通过网板印刷将使金属氧化物微粒分散在乙基纤维素等粘合剂树脂中而成的糊剂涂布在基板上，然后，通过烧成形成由金属氧化物微粒形成的层。

但是，这种使用有网板印刷的方法存在如下诸多问题：通常作为粘合剂树脂使用的乙基纤维素的热分解性差，烧成后的残留碳较多；因烧结时的高温加热而引起金属氧化物劣化；为了充分发挥金属氧化物的特性需要使微粒良好地分散，但是粒子之间因为较强的相互作用而产生凝聚，从而导致分散糊剂发生凝胶化等。

因此，希望能有一种能够得到与利用真空蒸镀的情况具有同等性能的金属氧化物薄膜的简便方法。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-49019号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于，提供一种通过改善金属氧化物微粒的分散性而实现了优异的网板印刷性的金属氧化物微粒分散浆料。进而，本发明的目的在于，提供一种含有该金属氧化物微粒分散浆料的金属氧化物微粒分散糊剂、使用有该金属氧化物微粒分散浆料或者该金属氧化物微粒分散糊剂的金属氧化物薄膜的制造方法及由该金属氧化物薄膜的制造方法得到的金属氧化物薄膜。

用于解决问题的手段

本发明的金属氧化物微粒分散浆料是含有金属氧化物微粒及有机溶剂的金属氧化物微粒分散浆料，上述金属氧化物微粒的平均粒径为10～100nm，上述有机溶剂含有1分子中具有2个以上羟基、分子中碳原子数相对于羟基数的比值低于5、且在常温下的粘度为100mPa·s以上的多元醇。

下面，对本发明进行详细叙述。

近年来，替代通过真空蒸镀形成由金属氧化物微粒构成的层的方法和通过利用网板印刷涂布金属氧化物微粒分散浆料而形成由金属氧化物微粒构成的层的方法等，正在研究利用网板印刷涂布不包含粘合剂树脂的金属氧化物微粒分散浆料后进行溶剂干燥或者烧结的方法。但是，不使用粘合剂树脂时，金属氧化物微粒的分散状态恶化，非常难以得到与利用真空蒸镀的情况同等的金属氧化物薄膜。

因此，本发明人等发现，使平均粒径为10～100nm的金属氧化物微粒分散在规定结构的有机溶剂中得到的金属氧化物微粒分散浆料，通过维持金属氧化物微粒的高分散性可提高网板印刷性，可以简便地制造与利用真空蒸镀的情况具有同等的透明性、平滑性、致密性等的金属氧化物薄膜，从而完成了本发明。

本发明的金属氧化物微粒分散浆料含有金属氧化物微粒。