[发明专利]具有增进的流出物洗涤及水份控制的减排系统无效

专利信息
申请号: 200980144641.1 申请日: 2009-11-06
公开(公告)号: CN102209583A 公开(公告)日: 2011-10-05
发明(设计)人: 菲尔·钱德勒;丹尼尔·O·克拉克;弗兰克·霍史达瑞恩;丹·S·布朗;巴里·佩奇;艾伦·福克斯;乔治·L·丹森三世;杰伊·俊 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D47/06
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 柳春雷
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 增进 流出物 洗涤 控制 系统
【权利要求书】:

1.一种减排系统,包括:

排放导管,其使流出物流从其中流动通过;

多个填充床,其设置在所述排放导管中,以从所述流出物流移除非可排放的流出物;

一个或多个喷嘴,其设置为在相邻的填充床之间提供流出物处理剂,所述流出物处理剂从所述流出物流移除非可排放的流出物;以及

滴注器,其设置在所述排放导管中而位于最上方填充床上方,来以大液滴提供所述流出物处理剂,以在基本上不会形成微细液滴的状态下润湿并冲洗所述最上方填充床的上表面的微粒。

2.根据权利要求1所述的系统,其中,所述滴注器还包括:

淋洒头,其具有在所述最上方填充床上方设置在所述排放导管中的多个出口,以从所述淋洒头提供所述流出物处理剂。

3.根据权利要求1所述的系统,其中所述滴注器还包括:

第二导管,其从所述排放导管的壁延伸,所述第二导管具有设置在所述第二导管的面向上游侧的多个出口,以从所述出口提供所述流出物处理剂。

4.根据权利要求2-3所述的系统,其中,所述多个出口被构造为提供与所述排放导管的大致形状相匹配的喷洒图案。

5.根据权利要求3所述的系统,其中,所述多个出口被沿着所述第二导管的长度设置成多个列,每个列在所述面向上游侧上沿着所述第二导管的圆周而部分地延伸,并且其中,在邻近所述排放导管的壁的位置与邻近所述排放导管的中心轴的位置之间,在一列中的所述出口的数量随着所述第二导管的长度而增加。

6.根据权利要求5所述的系统,其中,各个列包含单个出口、两个出口或三个出口,其中,各个单个出口的列具有方位确定为平行于所述排放导管的中心轴的一个出口;其中,各个两个出口的列具有相对于所述中心轴而对称地成角度的两个出口;以及其中,各个三个出口的列具有一个中心出口,所述中心出口的方位确定为平行于所述中心轴并设置在相对于所述中心轴而对称地成角度的两个出口之间。

7.根据权利要求1-6所述的系统,其中,所述滴注器提供具有大于或等于约200微米的平均直径的流出物处理剂液滴,并且其中,所述微细液滴具有介于约0.1至10微米之间的平均直径。

8.根据权利要求1-6中任一所述的系统,其中,所述滴注器系提供具有介于约200至2000微米之间的平均直径的流出物处理剂液滴,并且其中,所述微细液滴具有介于约0.1至10微米之间的平均直径。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的系统,其中,所述多个填充床的数量可介于约2个至约10个之间。

10.根据权利要求1所述的系统,其中,各个填充床的轴向长度介于约5至约30英寸之间。

11.根据权利要求1所述的系统,其中,所述最上方填充床的轴向长度大于最下方填充床的轴向长度。

12.根据权利要求11所述的系统,其中,所述最上方填充床的轴向长度介于约10至约15英寸之间并且所述最下方填充床的轴向长度介于约5至约8英寸之间,并且其中,设置在所述最上方填充床与所述最下方填充床之间的填充床具有介于约5至约8英寸之间的轴向长度。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的系统,其中,所述流出物处理剂包括水(H2O),腐蚀性、酸性、离子或非离子界面活性剂,凝结剂或它们的组合。

14.根据权利要求1-13中任一项所述的系统,其中,所述多个填充床是三个沿轴向设置在所述排放导管中并设置成间隔关系的填充床,并且其中,所述滴注器被构造为以具有介于约200至2000微米之间的平均直径的大液滴来提供所述流出物处理剂,以润湿并冲洗所述最上方填充床的上表面的微粒。

15.根据权利要求1-14中任一项所述的系统,还包括:

燃烧腔室,其被构造为接收流出物并对所述流出物进行燃烧;

淬冷设备,其设置在所述燃烧腔室的下游处,以对从所述燃烧腔室流出的所述流出物进行淬冷;

分离槽,其设置在所述淬冷设备的下游处,以接收从所述淬冷设备流出的所述流出物;

其中,所述排放导管、所述多个填充床、所述一个或多个喷嘴以及所述滴注器是洗涤器的一部分,所述洗涤器设置在所述分离槽的下游处,以接收从所述分离槽流出的所述流出物。

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