[发明专利]气体洗涤装置及气体洗涤方法无效
| 申请号： | 200980142536.4 | 申请日： | 2009-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102217041A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 金翼年;池映渊 | 申请（专利权）人： | 株式会社三重核心韩国 |
| 主分类号： | H01L21/302 | 分类号： | H01L21/302;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 洗涤 装置 方法 | ||
1.一种气体洗涤装置，其特征在于，该装置包括：
一反应管，一反应气体通过该反应管流入；
一反应器，连接至该反应管并以等离子体激活该反应气体；以及
一注水口，将水注入该反应器中的该等离子体。
2.如权利要求1所述的气体洗涤装置，其特征在于，该注水口为一滴管的形式，以一恒定速率将水滴滴入。
3.如权利要求1所述的气体洗涤装置，其特征在于，该注水口与该反应管分隔10厘米至20厘米。
4.如权利要求1所述的气体洗涤装置，其特征在于，该注水口以2毫升/分钟至10毫升/分钟的速率注入水。
5.一种气体洗涤装置，其特征在于，该装置包括：
一反应管，一反应气体通过该反应管流入；
一反应器，连接到该反应管并以等离子体激活该反应气体；以及
一喷嘴，藉由一外部压力直接将水注入该反应器，
其中，通过该喷嘴注入该反应器的水藉由作为一热源的该等离子体而蒸发，使其与反应气体等离子体反应。
6.如权利要求5所述的气体洗涤装置，其特征在于，该喷嘴与该反应管分隔10厘米至20厘米。
7.一种气体洗涤装置，其特征在于，该装置包括：
一反应管，一反应气体通过该反应管流入；
一反应器，连接到该反应管并以等离子体激活该反应气体；
一管道，与该反应器接触，并灌满水；以及
一喷嘴，将该管道中由该反应器的热所蒸发的水注入到该反应器。
8.如权利要求7所述的气体洗涤装置，其特征在于，该管道位于该反应器的壁内，从而该反应器具有一双重壁。
9.如权利要求7所述的气体洗涤装置，其特征在于，该喷嘴与该反应管分隔10厘米至20厘米。
10.一种气体洗涤方法，其特征在于，该方法包括：
流动于一反应气体中；
以等离子体激活该反应气体；以及
将使用作为一热源的反应气体等离子体所蒸发的水注入至该反应气体等离子体，使其与该反应气体等离子体反应。
11.如权利要求10所述的气体洗涤方法，其特征在于，该水在间隔该反应气体等离子体的一火焰开始点10厘米至20厘米的一位置蒸发。
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