[发明专利]具有对角馈线的改善的金属上金属电容器

说明书

背景技术

在混合信号和RF电路的设计中要求高质量的电容器以补偿谐振器中的片上电感器的有限质量或者提供去耦合(以防止RF耦合在功率线或者接地线上)。经常使用金属上金属(MOM)电容器并且使用标准IC互连层构建这些电容器。也可以将这些电容器称为金属-金属梳状或者边缘电容器。

当前的电容器设计包括所有传导路径为直角的曼哈顿类型(Manhattan-style)电容器和垂直平行板(Vertical Parallel Plate，VPP)电容器，该曼哈顿类型电容器包括位于每一层102、103中的交织的(woven)金属指状物101，如图1所示。也提出了使设备中的电流路径的取向随机化并且缩短该电流路径的长度的分形电容器。

下面描述的实施例并不局限于解决公知的金属上金属电容器的任意或者全部缺陷的实施方式。

发明内容

提供发明内容部分以引入下面在具体实施方式中进一步描述的简化形式的概念选择。该发明内容部分并非旨在标识请求保护的主题的关键特征或者基本特征，也并非旨在用于辅助确定请求保护的主题的范围。

现在描述对于改善的金属上金属电容器设计的设计。该设计包括位于每一个金属层中的基本上对角的馈线。每一个金属层包括相互交织的两组金属指状物。每一组指状物包括指状物的两个子集并且彼此成直角设置该指状物的子集。位于两组中的第一组中的指状物都连接到对角馈线，而位于另一组中的指状物经由设备外围处的指状物连接到一起。在相邻层中重复该设计，其中该设计在相邻金属层中可以相同或者旋转180°。

第一方面提供一种金属上金属电容器单元设计，所述金属上金属电容器单元设计包括多个金属层，每一个金属层包括一设计，该设计包括：两组相互交叉的指状物，其中每一组指状物包括指状物的第一子集和指状物的第二子集，并且其中所述第一子集中的指状物与所述第二子集中的指状物基本上垂直；以及所述第一组指状物所连接到的成角度的馈线。

所述成角度的馈线可以包括基本上对角的馈线。

所述成角度的馈线可以比所述指状物中的任意一个更宽。

所述设计可以在相邻金属层之间旋转180°。

所述金属上金属电容器单元设计可以进一步包括多个通孔以提供相邻层之间的连接，所述通孔位于所述单元的外围处的指状物中。

第二方面提供一种金属上金属电容器设计，包括如上所述的多个单元，设置所述多个单元以使得相邻单元旋转90°，并且所述金属上金属电容器设计进一步包括顶部金属层以及设置以连接所述多个单元中的每一个的多个通孔。

位于所述顶部金属层中的所述多个通孔可以与所述成角度的馈线对准。

第三方面提供一种金属上金属电容器，包括如上所述的金属上金属电容器设计并且其中相邻金属层通过电介质层分隔开。

进一步的方面提供一种基本上如参照附图中的图2-5中的任意一个所描述的金属上金属电容器以及基本上如参照附图中的图2-5中的任意一个所描述的金属上金属电容器设计。

对于本领域技术人员来说很明显的是，可以适当组合优选特征，并且可以将所述优选特征与本发明的任意方面组合。

附图说明

将参照附图通过示例的方式描述本发明的实施例，在附图中：

图1是曼哈顿类型电容器的示意图；

图2示出了改善的MOM电容器设计的示意图；

图3示出了图2的一部分的放大图；

图4示出了改善的MOM电容器设计的进一步的示例的示意图；并且

图5示出了通过平铺(tile)单独的电容器单元创建的电容器的示意图。

在整个附图中使用相同的附图标记表示类似的特征。

具体实施方式

下面仅通过示例的方式描述本发明的实施例。这些示例代表申请人目前已知的实施本发明的最佳方式，尽管这些最佳方式不是能够实现本发明的仅有的方式。说明书阐述了所述示例的功能以及用于构建和操作所述示例的步骤顺序。然而，可以通过不同的示例实现相同或者等效的功能和顺序。