[发明专利]真空处理设备

权利要求书

1.一种用于固定或输送工件(44)的真空处理设备，所述真空处理设备由多个部件构成，其中所述部件中的至少一个配备有RFID标签(10)，并且所述RFID标签(10)设置有RFID芯片(14)和天线(12)，其特征在于，在RFID芯片(14)与天线(12)之间设置有用于使RFID芯片(14)和天线(12)隔离的开关元件(16)。

2.根据权利要求1所述的真空处理设备，其特征在于，开关元件(16)能够通过真空处理设备或者以手动方式来操作。

3.根据上述权利要求之一所述的真空处理设备，其特征在于，开关元件(16)能够通过在真空处理设备中的真空来操作。

4.根据上述权利要求之一所述的真空处理设备，其特征在于，开关元件能够借助磁体、尤其是设置在真空处理设备中的磁体来操作。

5.根据上述权利要求之一所述的真空处理设备，其特征在于，开关元件(16)能够借助设置在真空处理设备中的、通过放置工件(44)而能够激活的按键(40，52)来操作。

6.根据上述权利要求之一所述的真空处理设备，其特征在于，开关元件(16)是断路器或切换器。

7.根据上述权利要求之一所述的真空处理设备，其特征在于，开关元件(16)与活塞(28)、膜(32)、磁体、铁磁元件(34)和/或按键(38，40，52)以机械方式耦合。

8.根据权利要求7所述的真空处理设备，其特征在于，所述按键(38，40，52)能够以手动方式、通过重力或者通过真空来操作。

9.根据上述权利要求之一所述的真空处理设备，其特征在于，借助所述开关元件(16)能够将RFID芯片(14)和天线(12)电隔离。