[发明专利]具有温控装置的光学组件

权利要求书

1.用于具有其温度要被控制的至少一个光学体(17)的光学组件(16)的温控装置(19)，所述至少一个光学体(17)具有可以通过热流(39)对其作用的至少一个表面(18)，所述温控装置(19)

-具有热沉(20)，所述热沉接收从所述光学体(17)或与所述光学体(17)热连接的传输体发射的热流(21)，

-其中，所述热沉(20)被布置为与所述光学表面(18)的边缘区域(22)相邻，

-具有加热机构(28)，其校正所述光学体(17)的变形并具有至少一个加热体(29)，所述至少一个加热体(29)被布置为与所述光学体(17)相邻，

-其中，所述加热体(29)通过物理热桥(32)连接到所述热沉(20)，且所述加热体(29)的温度大于或等于所述热沉(20)的温度。

2.如权利要求1所述的温控装置，其特征在于：所述热桥(32)由所述加热体(29)与所述热沉(20)之间的至少一个连接网(33)形成。

3.如权利要求2所述的温控装置，其特征在于：所述至少一个连接网(33)具有大于1mm²的截面积。

4.如权利要求3所述的温控装置，其特征在于：所述至少一个连接网(33)由铝、钢、因钢或陶瓷复合材料中的至少一种构成。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的温控装置，其特征在于：所述加热机构(28)具有调控机构(35)，用于通过所述加热体(29)指定温度分布。

6.如权利要求1至5中的任一项所述的温控装置，其特征在于：所述加热体(29)具有加热箔(30)。

7.如权利要求1至6中的任一项所述的温控装置，其特征在于：所述加热体(29)的部分可以被加热和/或冷却。

8.如权利要求1至7中的任一项所述的温控装置，其特征在于：所述加热体(29)的部分可以被保持在预定温度。

9.如权利要求1至8中的任一项所述的温控装置，其特征在于：所述热沉(20)与调控机构(35)信号连接，以指定所述热沉(20)的恒定温度。

10.如权利要求1至9中的任一项所述的温控装置，其特征在于：通过支撑结构(26)装配所述光学体(17)，所述支撑结构(26)的热传输小于所述加热体(29)与所述热沉(20)之间的所述热桥(32)的热传输，从而，在一方面经由所述支撑结构(26)、另一方面经由所述热桥(32)的热传输的相互作用中，关于所述加热体(29)的温度以及保持所述加热体(29)的要被调控的温度所需要的加热能量的调控，调节最优效率。

11.如权利要求1至10中的任一项所述的温控装置，其特征在于：所述至少一个光学表面(18)被布置在气体环境中。

12.如权利要求1至11中的任一项所述的温控装置，其特征在于：所述光学体(17)被构造为反射镜，所述加热机构(28)被布置为与所述反射镜(17)的后侧(31)相邻、与所述反射镜(17)的所述光学表面(18)相远。

13.具有根据权利要求1至12中的任一项的温控装置的光学组件(16)。

14.具有根据权利要求13的光学组件的照明光学部件(6)。

15.具有根据权利要求13的光学组件的投射光学部件(7)。

16.具有根据权利要求14的照明光学部件(6)和/或根据权利要求15的投射光学部件(7)的投射曝光设备(1)。

17.使用根据权利要求1至12中的任一项的温控装置补偿光学体(17)的光学表面(18)的热致的变形的方法，所述光学体(17)具有可以利用热流对其作用的至少一个表面(18)，所述方法包括以下步骤：

-测量利用其对所述光学体(17)的所述表面(18)作用的热流(39)，以及/或者测量被所述热流(39)作用的所述表面(18)上的、和/或所述光学体(17)上的预定位置处的温度，

-设置所述加热机构(28)的加热体(29)的温度，所述加热体(29)温度大于或等于所述热沉(20)的温度。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于：设置所述热沉(20)的温度。