[发明专利]改进的线栅衬底结构和用于制造这种衬底的方法

权利要求书

1. 一种用在将用激发光照射的传感器中的多层衬底结构，包括：

至少一个载体层（11），

第一层（12），所述载体层和第一层彼此接触，以及

至少一个第二层（13），其具有不同于该第一层的化学成分，所述第一层和第二层彼此接触，该第二层形成若干开孔，每个开孔具有至少一个小于衍射极限的面内尺度（W1），该衍射极限由该激发光的辐射波长限定。

2. 根据权利要求1的衬底结构，其中该载体层和该第一层对于该激发光是基本可透过的。

3. 根据权利要求1和2中任一项的衬底结构，其中该第一层具有5nm到10nm的厚度。

4. 根据权利要求1至3中任一项的衬底结构，其中该第一层包括惰性金属。

5. 根据权利要求1至4中任一项的衬底结构，其中该第二层基本上由铝、氧化铝或其组合形成。

6. 根据权利要求1至5中任一项的衬底结构，其中该第一层被化学改性以促进分子目标固定。

7. 根据权利要求6的衬底结构，其中该第一层的表面用硫醇基功能化。

8. 根据权利要求1至7中任一项的衬底结构，其中该第一层的表面用分子配体功能化。

9. 根据权利要求7或8中任一项的衬底结构，其中该第二层未被功能化。

10. 一种发光传感器，其包括根据权利要求1的多层衬底结构、用于照射该传感器的激发辐射源（31）和用于检测发光辐射的检测器（32）。

11. 一种用于制造根据权利要求1至9中任一项的衬底结构的方法，包括以下步骤：

提供载体层（11），

在该载体层的顶部上添加第一层（12），

在该第一层的顶部上添加第二层（13）

通过图案化所述第二层限定具有至少一个小于衍射极限的面内尺度（W1）的若干开孔。

12. 根据权利要求11的方法，其中该第一层和或第二层经由蒸发被添加。

13. 根据权利要求11和12中任一项的方法，其中该第一层被化学改性以促进捕获探针结合。

14. 根据权利要求1至9中任一项的衬底结构或者根据权利要求10的发光传感器用于检测目标分子的用途。