[发明专利]沉积材料的方法有效
| 申请号： | 200980133621.4 | 申请日： | 2009-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102131952A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | J·A·扬森斯;G·范德艾克尔;J·M·德克斯;J·J·布鲁克玛特;P·特里勒 | 申请（专利权）人： | 索尔玛特斯有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王会卿 |
| 地址： | 荷兰恩*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 材料 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种沉积靶材料至样品的表面上的方法，所述方法包括以下步骤：
-通过用激光束或电子束照射靶表面以生成靶材料粒子的羽焰；
-放置所述样品至所述羽焰附近，以使得所述靶材料粒子沉积到所述样品的表面上；
其特征在于：
-绕着垂直于沉积粒子的所述样品的表面的旋转轴线旋转所述样品；
-沿着所述靶表面移动所述激光束，以使得所述羽焰相对于所述旋转轴线沿径向移动；
-以可变的频率来脉冲调制所述激光束。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述样品的表面为圆盘状。
3.如权利要求1或2所述的方法，其中所述靶表面基本上平行于所述样品的表面。
4.如上述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中靶材料为棒，该棒能围绕其纵轴旋转。
5.如上述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述样品的角速度依赖于所述旋转轴线与所述靶表面上所述激光束的接触区域之间的距离。
6.如上述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述激光束的脉冲频率依赖于所述旋转轴线与所述靶表面上所述激光束的接触区域之间的距离。
7.如上述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述脉冲频率在1Hz到500Hz范围内。
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