[发明专利]连续成膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种连续成膜装置，其具有卷挂带状的被成膜材的成膜辊，在由该成膜辊输送的上述被成膜材的表面上连续地成膜功能性薄膜等的薄膜。

背景技术

以往，作为用来在由通过塑料或无机质等形成的长尺寸的薄膜或片材构成的被成膜材的表面上连续地形成薄膜的连续成膜装置，有具备真空腔室、在该真空腔室内连续地输送上述被成膜材的部件、和在该被输送的被成膜材的表面上通过溅镀或蒸镀而成膜各种功能性薄膜的部件的装置。在这种连续成膜装置中，需要在每次成批处理时进行溅镀源等的蒸发源的更换、区划成膜区域的掩模的更换及清扫、被成膜材的更换及通纸那样的维护及准备作业。

近年来，提出了上述那样的作业容易进行、并且设置所需要的空间较小的各种连续成膜装置。例如，在专利文献1及2中，记载有一种具备真空腔室和成膜材料的蒸发源的连续成膜装置，上述真空腔室具有腔室主体和侧面壁，该侧面壁作为侧门部相对于上述腔室主体开闭自如，在该侧面壁上安装有上述蒸发源。

该连续成膜装置如图5及图6所示，具备设置在下部框架30之上的真空腔室101、和设在该真空腔室101内的蒸发源7L、7R。

上述真空腔室101由腔室主体15和侧面壁25、26构成。腔室主体15具有背面壁21、与其对置配置的正面壁22、将这些背面壁21及正面壁22的上端彼此及下端彼此分别连结的上面壁23及下面壁24，呈左右开口的框状。上述侧面壁25、26构成将上述腔室主体15的左右开口开闭自如地封闭的左右的蒸发源用门部16L、16R，这些蒸发源用门部16L、16R分别通过设在上述背面壁21的侧端部上的铰链机构27相对于腔室主体15开闭自如地连结，当关闭时使腔室主体15内成为气密状态。

在上述真空腔室101中，设有将其内部上下较粗地区划的隔壁板41。在真空腔室101内的下部旋转自如地设有成膜辊2。在该成膜辊2的周围卷挂作为被成膜材的薄膜，通过上述成膜辊2的旋转，将该薄膜以定速度输送。

另一方面，在真空腔室101内的上部，除了设有送出单元3及卷取单元4以外，还分别旋转自如地设有多个辅助辊5及多个辅助辊6。上述辅助辊5将从上述送出单元3送出的成膜前的被成膜材向成膜辊2侧输送，上述辅助辊6从上述成膜辊2将成膜后的被成膜材向卷取单元4侧输送。

在真空腔室101内的下部，除了上述成膜辊2以外，还设有上述蒸发源7L、7R，以使其位于成膜辊2的左右。此外，在真空腔室101的上部，设有将该真空腔室101内的上部真空排气的排气泵10。在上述辅助辊5、6的一部分中，通常附设有具备测力计等的测量元件的张力测量机构。

上述送出单元3及上述卷取单元4分别具有旋转轴、和可拆装地设在该旋转轴上而在周围卷装有被成膜材的芯(コァ)。另一方面，在上述背面壁21及上述正面壁22上，设有拆装自如且旋转自如地支承上述旋转轴的旋转驱动部。此外，上述成膜辊2及上述各辅助辊5、6被上述背面壁21和正面壁22旋转自如地支承。此外，上述蒸发源7L、7R拆装自如地安装在侧面壁25、26R、即侧门部16L、16R上。

在成膜运转开始时，在上述送出单元3的芯上将成膜前的被成膜材满卷地卷绕为线圈状，另一方面，卷曲单元4的芯为在其周围还没有卷取成膜后的被成膜材的空的状态。在真空腔室101的内部被减压为真空之后，卷绕在送出单元3的芯上的薄膜被经由辅助辊5连续地供给到成膜辊2上，在成膜辊2的外周面上成膜后，再次经由卷取单元侧的辅助辊6被卷取到设在卷取单元4中的芯上。此时，附设在辅助辊上的张力测量机构检测被成膜材的张力，将该检测到的值反馈给旋转驱动部，转矩控制送出单元、卷取单元的旋转轴。由此，对被成膜材赋予既定的张力。

在成膜运转结束后，将左右的蒸发源用门部16L、16R打开，并且将附设在这些蒸发源用门部16L、16R上的蒸发源7L、7R拉出到腔室外。在此状态下进行蒸发源7L、7R的维护或更换。将变空的送出单元3及满卷地卷取后的卷取单元4从上述蒸发源门部送出，代替它们而运入新的单元。这样的送出单元3、卷取单元4的送出、送入作业在本说明书中称作单元的更换作业。